Docstoc

扩散硅压力传感器温漂补偿的软件实现

Document Sample
扩散硅压力传感器温漂补偿的软件实现 Powered By Docstoc
					西北工业大学 硕士学位论文 扩散硅压力传感器温漂补偿的软件实现 姓名:姬生浩 申请学位级别:硕士 专业:电路与系统 指导教师:王淑敏 20070301

扩散硅压力传感器温漂补偿的软件实现
作者: 学位授予单位: 姬生浩 西北工业大学

参考文献(34条) 1.张晓群.吕惠民 压力传感器的发展、现状与未来 2000(01) 2.张萌.杨晋生.张继红 船载导航设备数据传输系统 2006(01) 3.李国玉.孙以材.戴振清 输出信号基于规范化多项式拟合的智能压力传感器 2005(01) 4.张冈.陈幼平.谢经明 基于现场总线的网络化智能传感器研究 2002(09) 5.Eugene Zakar MEMS Piezo Pressure Sensor for Military Applications[NTIS,2005-19,Disk #1] 6.童长飞 C8051F系列单片机开发与C语言编程 2005 7.张志涌 精通KATLAB6.5版 2003 8.赵亮.侯国锐 单片机C语言编程与实例 2003 9.Melvas P.Stemme G A diode-based two-wire solution for temperature compensated piezoresistive pressure sensors 2003(02) 10.潘琢金.孙德龙.夏秀峰 C8051F单片机应用解析(译) 2002 11.叶树明.潘佚 高速数据采集和控制模块设计及其应用 2005(30) 12.C8051F310/1 User'S Manual 2002 13.ADuC824 User'S Manual 2002 14.黄昀 扩散硅压力传感器的温漂及补偿[学位论文]硕士 2002 15.赵彦晓 压力传感器的热零点漂移补偿与非线性修正[学位论文]硕士 2003 16.郁翔 高精度数字化压力传感器的研制[学位论文]硕士 2004 17.张乃尧.阎平凡 神经网络与模糊控制 1998 18.K H Peng.C M Uang The Temperature Compensation of the Silicon Piezo-Resistive Pressure Sensor Using the Half Bridge Technique 19.洪水棕 现代测试技术 2002 20.夏勇 压阻式压力传感器温度补偿的研究与实现[学位论文]硕士 2006 21.沙占友 智能传感器系统设计与应用 2004 22.张文 压阻式压力传感器的温度误差补偿技术及虚拟仪器的组建[学位论文]硕士 2004 23.樊尚春 传感器技术与应用 2004 24.赵彦晓 基于单片机信息融合实现对压力传感器的热漂移非线性补偿 2003(03) 25.杜泽祥 压力传感器的技术指标与线性修正技术 2003(12) 26.P T Hsieh.Y M Chang Double bridge technique for temperature Compensation of piezoresistive pressure sensor 27.何迎辉 薄膜压力传感器性能研究及软件补偿 2004 28.张莉丽 扩散硅压力传感器热灵敏度漂移补偿方法的研究 2005(01) 29.罗秦川 多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术 2003(05) 30.崔淑琴 智能压力传感器的研究与设计[学位论文]硕士 2005 31.Marek T Wlodarczyk Temperature-compensated miniature cylinder pressure sensor for automotive

applications 32.张文竹 智能差压传感器的研制[学位论文]硕士 2003 33.刘君华 智能传感器系统 1999 34.汪晓东.万旭.赵鹏程 基于神经网络的传感器静态误差综合修正法 1997(06)

相似文献(10条) 1.会议论文 吴宪平.胡美凤 扩散硅压力传感器零位温度系数的双桥补偿法 1995 2.会议论文 庞世信 扩散硅压力传感器规模生产中的有关问题 1995 3.会议论文 吴宪平.胡美凤 双岛结构扩散硅压力传感器的过压保护研究 1995 4.期刊论文 赵晋敏.李守荣.王军波.陈德勇.刘磊.史晓晶.ZHAO Jin-min.LI Shou-rong.WANG Jun-bo.CHEN Deyong.LIU Lei.SHI Xiao-jing 扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除 -传感技术学报2009,22(3)
为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制.实验中发现 :由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题.通过对采用扩散硅作为谐振梁的 压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法.实验结果表明,该方法可 有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段.

5.期刊论文 刘照红.王留芳.吴娟 扩散硅压力传感器在水力模型实验装置液位测控中的应用 -郑州轻工业学院学报 (自然科学版)2004,19(4)
基于扩散硅压力传感器良好线性标准输出,结合方便的校验、标定方法,通过接口电路,将扩散硅压力传感器作为压力测量元件,应用于水力模型实验 装置过程控制系统.该设计不仅使测量精度得到提高,克服了量程迁移误差,而且由于它采用标准输出,易于实现多点集成化、数字化网络测量与控制.

6.期刊论文 杨俊.党选举.严斌.YANG JUN.DANG XUANJU.YAN BIN 扩散硅压力传感器的迟滞建模与智能补偿 -微计 算机信息2008,24(1)
针对扩散硅压力传感器表现出非常规非平滑的强非线性迟滞特性,利用提升空间维数的方法,提出一个结构简单的迟滞逆算子,将迟滞非线性的多值映 射转换成一一映射,建立T-S模糊模型逼近的迟滞逆模型,并实现对迟滞环的智能补偿.仿真结果表明,该模型用于迟滞特性建模是有效的,并具有较高的补 偿精度.

7.学位论文 黄昀 扩散硅压力传感器的温漂及补偿 2002
利用硅的压阻效应和微电子技术制作的扩散硅力敏传感器是近30年来发展非常迅速的一种新的物性型传感器.扩散硅传感器以其灵敏度输出高,动态 响应好,测量精度高,稳定性好,易于小型化和批量生产等优点广泛地应用于石油、化工、冶金、电力等行业,用来检测过程流体(液体、蒸汽、气体)的压 力、差压、绝压、液位等.但由于半导体的温度特性和封装引起的附加应力,传感器的性能要受温度的影响而发生变化,而现有的技术水平还无法生产没有 温度漂移的传感器,所以,温度补偿一直是扩散硅压力传感器研究和生产的一个关键技术问题.该文开始先从半导体原理及电路原理方面论述了零点及灵敏 度热漂移的产生原因,而后简单介绍了几种常用的补偿方法.在后面的论述中,根据实验要求,对已封装好的扩散硅传感器进行了零点及灵敏度的温度补偿 ,并设计出了简化的快速补偿法,取得了良好的补偿效果.最后,总结利弊,提出了对温度补偿的一些意见与研究探讨.

8.会议论文 刘沁.吕忠钢 扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究 1996 9.会议论文 王蕴辉.王善慈 扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析 1997 10.会议论文 刘士钢 扩散硅压力传感器测量系统抗干扰的实现 2000

本文链接:http://d.g.wanfangdata.com.cn/Thesis_Y1033654.aspx 下载时间:2010年1月20日


				
DOCUMENT INFO
Shared By:
Categories:
Tags:
Stats:
views:166
posted:2/1/2010
language:Chinese
pages:70