?????? ?????????? ? ????????? ? ??????? ???????????? ??????? Hitachi Starboard FX 77 Duo ????????? by 165hiV1

VIEWS: 111 PAGES: 78

									ИНФОРМАЦИОННЫЙ
   БЮЛЛЕТЕНЬ
  ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ ПРОГРАММЫ
   В ОБЛАСТИ НАНОТЕХНОЛОГИЙ,
РАЗРАБАТЫВАЕМЫЕ И РЕАЛИЗУЕМЫЕ
           ПО ЗАКАЗУ
 ИНВЕСТИЦИОННЫХ КОМПАНИЙ ГК
         «РОСНАНОТЕХ»




            МАРТ 2010
                                                        СОДЕРЖАНИЕ
1. Общая информация ................................................................................................................5
2. Общие сведения об организациях, реализующих разработку и апробацию
образовательных программ, заказанных ГК «Роснанотех» для подготовки кадров
проектных компаний. .................................................................................................................7
3. Основные характеристики отобранных по конкурсу программ. ................................16
    3.1. Программа    профессиональной                    переподготовки                   кадров,            предложенная
    Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
    образования «Иркутский государственный технический университет» для
    проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в
    области промышленного производства поликристаллического кремния для нужд
    солнечной энергетики и наноэлектроники. .......................................................................16
          Основные характеристики программы.......................................................................................16
          Краткое описание содержания программы ................................................................................16
          Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................17
          Управление программой ..............................................................................................................17
          Используемое оборудование .......................................................................................................18
      3.2. Программа    профессиональной                переподготовки                   кадров,            предложенная
      Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
      образования «Томский государственный университет» (ТГУ) для проектных
      компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвсетиционные проекты в области
      многопрофильного производства пористых наноструктурных неметаллических
      неорганических покрытий. ..................................................................................................20
          Основные характеристики программы.......................................................................................20
          Краткое описание содержания программы ................................................................................20
          Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................21
          Управление программой ..............................................................................................................22
          Используемое оборудование .......................................................................................................22
      3.3. Программа    профессиональной    переподготовки           кадров,            предложенная
      Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
      образования «Белгородский государственный технологический университет им. В.Г.
      Шухова» (БГТУ) для предприятий наноиндустрии Белгородской области,
      работающих      в    области     производства       бесцементных                     минеральных
      наноструктурированных вяжущих негидратационного твердения и композиционных
      материалов строительного назначения на их основе ......................................................24
          Основные характеристики программы.......................................................................................24
          Краткое описание содержания программы ................................................................................25
          Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................27
          Управление программой ..............................................................................................................27
          Используемое оборудование .......................................................................................................28
      3.4. Программа профессиональной переподготовки кадров и модуль повышения
      квалификации, предложенные Государственным образовательным учреждением
      высшего профессионального образования «Уральский государственный технический
      университет - УПИ имени первого Президента России Б.Н.Ельцина» для проектных
      компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
      высокоэффективных катализаторов для нейтрализации газовых выбросов. ..............35
          Основные характеристики программы.......................................................................................35

                                                                      2
    Краткое описание содержания программы. ...............................................................................36
    Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................37
    Управление программой ..............................................................................................................38
    Используемое оборудование .......................................................................................................38
3.5. Программа повышения квалификации кадров, предложенная Государственным
образовательным учреждением высшего профессионального образования «Пермский
государственный технический университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области производства
гироскопов на волоконных световодах, сохраняющих поляризацию, и создания
информационно-измерительных устройств на основе наноструктурированных
световодов ............................................................................................................................45
    Основные характеристики программы.......................................................................................45
    Краткое описание содержания программы ................................................................................45
    Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................46
    Управление программой ..............................................................................................................46
    Перечень используемого оборудования .....................................................................................47
3.6. Программа профессиональной подготовки кадров (уровень – магистратура),
предложенная Государственным        образовательным    учреждением                   высшего
профессионального образования «Пермский государственный технический
университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для
нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями ..........................................48
    Основные характеристики программы.......................................................................................48
    Краткое описание содержания программы ................................................................................48
    Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы .................................49
    Управление программой ..............................................................................................................50
    Используемое оборудование .......................................................................................................50
3.7. Программа    профессиональной    переподготовки        кадров,            предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия
имени П.А.Соловьева» (РГАТА имени П.А. Соловьева) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области разработки и
получения наноструктурированных покрытий режущего инструмента и
технологической оснастки для газотурбинной техники. ................................................53
    Основные характеристики программы.......................................................................................53
    Краткое описание содержания программы ................................................................................53
    Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................54
    Управление программой ..............................................................................................................54
    Используемое оборудование .......................................................................................................55
3.8. Программы профессиональной подготовки (уровень – магистратура) и
программы     переподготовки        кадров,             предложенные                      Государственным
образовательным    учреждением         высшего             профессио-нального                       образования
"Московский государственный институт электронной техники (технический
университет)" (МИЭТ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области проектирования и производства УБИС с
топологическими нормами 90 нм. ......................................................................................59
    Основные характеристики программы.......................................................................................59
    Краткое описание содержания программы ................................................................................59
                                                                3
   Участие проектных компаний в разработке и реализации программы...................................61
   Управление программой ..............................................................................................................61
   Используемое оборудование .......................................................................................................62
3.9. Программа   профессиональной    переподготовки                   кадров,            предложенная
Государственным образовательным учреждением высшего профессионального
образования «Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники» (ТУСУР) для проектных компаний ГК «Роснанотех»,
реализующих     инвестиционные     проекты               в          области                производства
конкурентоспособной      продукции           наноэлектроники                           на              основе
наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ диапазона длин волн и
дискретных полупроводниковых приборов. .......................................................................75
   Основные характеристики программы.......................................................................................75
   Краткое описание содержания программы ................................................................................75
   Участие проектной компании в разаработке и реализации программы .................................76
   Управление программой ..............................................................................................................76
   Используемое оборудование .......................................................................................................76




                                                               4
1. Общая информация

      В декабре 2009 года и в первом квартале 2010 года было проведено 10 открытых
конкурсов по отбору исполнителей разработки и реализации образовательных программ
для инвестиционных компаний, создаваемых при поддержке Корпорации.

      В результате проведенных конкурсов ведущие университеты страны приступили к
разработке 13 образовательных программ для 8 проектных компаний, а также для
комплекса строительных компаний Белгородской области. Общее число образовательных
программ, находящихся на этапе разработки или реализации, достигло 18-ти.

      В числе новых программ:

      1.     Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным         учреждением высшего   профессионального
образования «Иркутский государственный технический университет» для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
промышленного производства поликристаллического кремния для нужд солнечной
энергетики и наноэлектроники (по заказу ООО «Группа НИТОЛ», ID 854);
       2.    Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным      учреждением высшего       профессионального
образования «Томский государственный университет» (ТГУ) для проектных компаний
ГК «Роснанотех», реализующих инвсетиционные проекты в области многопрофильного
производства пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий (по
заказу ООО «Сибспарк», ID 1089).
      3.     Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным      учреждением высшего      профессионального
образования «Белгородский государственный технологический университет им. В.Г.
Шухова» (БГТУ) для предприятий наноиндустрии Белгородской области, работающих в
области производства бесцементных минеральных наноструктурированных вяжущих
негидратационного твердения и композиционных материалов строительного назначения
на их основе (по заказу компаний: ООО «Управляющая компания ЖБК-1», ОАО
Стройматериалы», ОАО «Белгородасбестоцемент», ООО «Аэробел», ООО «Первая
Строительная        Компания»,       ООО       «Экостройматериалы»,        ООО
«Яковлевостройдеталь»)
      4.    Программа профессиональной переподготовки кадров и модуль повышения
квалификации, предложенные Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования     «Уральский     государственный      технический
университет - УПИ имени первого Президента России Б.Н.Ельцина» для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
высокоэффективных катализаторов для нейтрализации газовых выбросов (по заказу ОАО
«Уральский электрохимический комбинат» Завод автомобильных катализаторов, г.
Новоуральск, Свердловской области, ID 466).



                                        5
      5.    Программа     повышения      квалификации   кадров,    предложенная
Государственным образовательным       учреждением высшего     профессионального
образования «Пермский государственный технический университет» (ПГТУ) для
проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
производства гироскопов на волоконных световодах, сохраняющих поляризацию, и
создания информационно-измерительных устройств на основе наноструктурированных
световодов    (по    заказу    ОАО        «Пермская    научно-производственная
приборостроительная компания» (ОАО ПНППК), ID 1033)
      6.    Программа профессиональной подготовки кадров (уровень – магистратура),
предложенная     Государственным      образовательным     учреждением     высшего
профессионального    образования    «Пермский     государственный     технический
университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для
нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями (по заказу ЗАО «Новомет», г.
Пермь, ID 1092).
      7.    Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным      учреждением высшего       профессионального
образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия
имени П.А.Соловьева» (РГАТА имени П.А. Соловьева) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области разработки и получения
наноструктурированных покрытий режущего инструмента и технологической оснастки
для газотурбинной техники (по заказу ЗАО «Новые инструментальные решения»,
г.Рыбинск, ID 448)
      8.    Программы профессиональной подготовки (уровень – магистратура) и
программы переподготовки кадров, предложенные Государственным образовательным
учреждением высшего профессио-нального образования "Московский государственный
институт электронной техники (технический университет)" (МИЭТ) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
проектирования и производства УБИС с топологическими нормами 90 нм (по заказу ОАО
«НИИМЭ и Микрон» (в составе ОАО «СИТРОНИКС»), ID 775)
      9.    Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным образовательным        учреждением высшего      профессионального
образования «Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники» (ТУСУР) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвестиционные проекты в области производства конкурентоспособной продукции
наноэлектроники на основе наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ
диапазона длин волн и дискретных полупроводниковых приборов (по заказу ООО
«Субмикроннные технологии», ЗАО «НПФ «Микран», ID 481).



     Информация об этих программах представлена в настоящем «Бюллетене»,
имеющем целью проинформировать проектные компании ГК «Роснанотех» об
имеющихся у них возможностях подготовки и переподготовки инженерных кадров.



                                        6
  2. Общие сведения об организациях, реализующих разработку и
  апробацию образовательных программ, заказанных ГК
  «Роснанотех» для подготовки кадров проектных компаний.



             Наименование                                     Сведения

Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего профессионального образования
                                          «Иркутский государственный технический
                                          университет» (ГОУ ВПО ИрГТУ)

Организационно-правовая форма             Государственное образовательное учреждение
                                          высшего профессионального образования

Основной государственный                  1023801756120, 06.11.2002
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     Серия А № 282434 от 27 мая 2008 года,
ведения образовательной деятельности с    действительна по 31 августа 2013 года
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о       Серия АА № 001413 от 23 июня 2008 года,
государственной аккредитации с            действительно по 23 июня 2013 года
указанием срока окончания его действия

Адрес местонахождения юридического        Россия, 664074, г. Иркутск, ул. Лермонтова, 83
лица (юридический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Тел/факс: (3952) 40-50-50, Афанасьев Александр
кода города), адрес электронной почты и   Диомидович, e-mail: aad@istu.edu
Ф.И.О. ответственного сотрудника




                                            7
             Наименование                                     Сведения
Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего профессионального образования
                                          «Томский государственный университет» (ТГУ)
Организационно-правовая форма             Государственное образовательное учреждение
                                          высшего профессионального образования
Основной государственный                  № 1027000853978 от 02.08.2002 г.
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     № 166460 серия А
ведения образовательной деятельности с    Рег. № 7344 от 10 июля 2006 г.
указанием срока окончания ее действия     Лицензия действительна по 10 октября 2011 г.
Номер и дата выдачи свидетельства о       Рег. № 0257 от 27.07.2006 г.
государственной аккредитации с            Свидетельство действительно по 27 июля 2011 г.
указанием срока окончания его действия

Адрес местонахождения юридического        Российская Федерация, 634050, г. Томск,
лица (юридический адрес)                  пр. Ленина, 36
Адрес для почтовых отправлений            Российская Федерация, 634050, г. Томск,
(фактический адрес)                       пр. Ленина, 36
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Демкин Владимир Петрович, проректор по
кода города), адрес электронной почты и   информатизации
Ф.И.О. ответственного сотрудника          т./ф (3822) 529-848, demkin@ido.tsu.ru
                                          svani@ido.tsu.ru




                                            8
             Наименование                                      Сведения

Полное и сокращенное наименование         Белгородский государственный
образовательного учреждения               технологический университет им. В.Г. Шухова
                                          (БГТУ)

Организационно-правовая форма             Государственное общеобразовательное
                                          учреждение высшего профессионального
                                          образования

Основной государственный                  1023101659481 от 9 июля 2004 года
регистрационный номер и дата его
присвоения

Номер и дата выдачи лицензии на право     № 9878 от 19 февраля 2008 года.
ведения образовательной деятельности с
                                          Лицензия действительна по 19 мая 2013 года
указанием срока окончания ее действия

Номер и дата выдачи свидетельства о       № 1119 от 7 марта 2008 года. Свидетельство
государственной аккредитации с            действительно по 7 марта 2013 года
указанием срока окончания его действия

Адрес местонахождения юридического        Россия, 308012, г. Белгород, ул. Костюкова, 46
лица (юридический адрес)
Адрес для почтовых отправлений            Россия, 308012, г. Белгород, ул. Костюкова, 46
(фактический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Колчева Нина Николаевна, Тел. 8(4722) 54-16-32,
кода города), адрес электронной почты и
                                          ф. 8(4722) 55-71-39, rect@intbel.ru
Ф.И.О. ответственных сотрудников
                                          Алтынник Наталья Игоревна

                                          Тел. 8(4722) 54-90-41,

                                          факс 8(4722) 30-99-91, s-nsm@intbel.ru,

                                          natalya-altynnik@yandex.ru, a.natalina@mail.ru


                                            9
             Наименование                                     Сведения

                                          Государственное образовательное учреждение
Полное и сокращенное наименование
                                          высшего      профессионального       образования
Заявителя
                                          «Уральский      государственный      технический
                                          университет - УПИ имени первого Президента
                                          России Б.Н.Ельцина» (УГТУ-УПИ)

                                          Государственное образовательное учреждение
Организационно-правовая форма
Заявителя

Основной государственный                  ОГРН 1026604939855
регистрационный номер и дата его          Дата присвоения ОГРН 16.07.2008
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     Лицензия серия АА № 000246 рег. № 0244 от
ведения образовательной деятельности с    07.10.2008 сроком действия до 09 июля 2013 года
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о       Свидетельство серия АА № 001835, рег. № 1798, от
государственной аккредитации с            30.03.2009 года сроком действия до 07 марта 2013
указанием срока окончания его действия    года.

                                          620002, г.Екатеринбург, Мира, 19
Адрес местонахождения юридического
лица (юридический адрес)

                                          Кортов Всеволод Семенович,
                                          зав. кафедрой УГТУ-УПИ
                                          Тел: (343)375-44-43, факс (343)375-44-15
                                          E-mail: V.Kortov@mail.ustu.ru
Телефоны, факс Заявителя (с указанием
                                          Пиличев Валерий Валерьевич,
кода города), адрес электронной почты и
Ф.И.О. ответственных сотрудников          доцент УГТУ-УПИ
                                          Тел (343) 375-48-35, +79122427669
                                          Факс (343) 375-44-15
                                          E-mail: vvp@nauka-ustu.ru




                                           10
             Наименование                                      Сведения
Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего        профессионального       образования
                                          «Пермский         государственный      технический
                                          университет», ПГТУ
Организационно-правовая форма             Государственное учреждение

       Основной государственный           1025900513924
    регистрационный номер и дата его      02. 10. 2002 г.
               присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     Серия А, №255847, от 16. 04. 2007 г.
ведения образовательной деятельности с    Рег. № 8523
указанием срока окончания ее действия     Действительна по 16. 07. 2012 г.

Номер и дата выдачи свидетельства о       №0613 от 4 мая 2007 г.
государственной аккредитации с            По 4 мая 2012 г.
указанием срока окончания его действия

Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Анатолий       Александрович   Ташкинов,   первый
кода города), адрес электронной почты и   проректор, (342) 212 37 40,
Ф.И.О. ответственного сотрудника          tash@pstu.ru




                                            11
             Наименование                                       Сведения

Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего профессионального образования
                                          «Рыбинская государственная авиационная
                                          технологическая академия имени
                                          П.А.Соловьева» (РГАТА имени П.А. Соловьева)
Организационно-правовая форма             Государственное образовательное учреждение
                                          высшего профессионального образования
Основной государственный                  1027601126057
регистрационный номер и дата его          дата 26.09.1994 г.
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     Регистрационный № 1532.
ведения образовательной деятельности с    Дата от 1.06.2009г.
указанием срока окончания ее действия     Свидетельство: серия АА №1532 .
                                          Лицензия действительна
                                          до 1 июня 2014 г.
Номер и дата выдачи свидетельства о       Регистрационный № 1371 от 23.06.2008 г.
государственной аккредитации с            Свидетельство: серия АА № 001404.
указанием срока окончания его действия    Срок действия 01.11.2011.

Адрес местонахождения юридического        152934, Ярославская область, г.Рыбинск,
лица (юридический адрес)                  ул.Пушкина, д.53
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Тел. (4855) 28-04-70, факс (4855) 21-39-64
кода города), адрес электронной почты и   Конт. лицо:
Ф.И.О. сотрудника, уполномоченного        Проректор по НИР, д.т.н., профессор Кожина
Заявителем принимать телефонограммы,      Татьяна Дмитриевна
факсимильные и иные сообщения             тел. (4855) 28-04-78,
                                          факс (4855) 21-39-64,
                                          E-mail: prorectnir@rgata




                                           12
             Наименование                                         Сведения

Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего профессио-нального образования
                                          "Московский государственный институт
                                          электронной техники (технический университет)" -
                                          МИЭТ
Организационно-правовая форма             Государственное учреждение
Основной государственный                  № 1027739615584, 25.11.2002
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     А № 165735 от 10 апреля 2006 г.
ведения образовательной деятельности с    по 10 июля 2011 г.
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о       АА № 000159 от03 июля 2006 г.
государственной аккредитации с            по 03 июля 2011 г.
указанием срока окончания его действия

Адрес местонахождения юридического        124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
лица (юридический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Гаврилов Сергей Александрович,
кода города), адрес электронной почты и   проректор по научной работе,
Ф.И.О. ответственных сотрудников          тел. 8-499-731-22-79
                                          E-mail: pcfme@miee.ru; lv@miee.ru


                                          Найда Галина Акимовна Тел. 8-499-731-72-19,
                                                8-499-720-85-28
                                          Факс: 8-499-720-85-28,
                                                 8-499-710-54-29
                                          E-mail: lv@miee.ru, gan@miee.ru,




                                           13
             Наименование                                      Сведения

Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего профессионального образования
                                          «Томский государственный университет систем
                                          управления и радиоэлектроники» (ТУСУР)
Организационно-правовая форма             81 Государственное учреждение

Основной государственный                  1027000867068
регистрационный номер и дата его          09 марта 1994 г.
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     Рег. № 10239 от 21 мая 2008 г.
ведения образовательной деятельности с    Лицензия действительна до 31 декабря 2012 г.
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о       Рег. № 1340 от 23 июня 2008 г.
государственной аккредитации с            Свидетельство действительно по 23 июня 2013 г.
указанием срока окончания его действия

Адрес местонахождения юридического        634050, РФ, г. Томск, пр. Ленина, 40, ТУСУР
лица (юридический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Малютин Николай Дмитриевич, д.т.н., проф.,
кода города), адрес электронной почты и   начальник научного управления, директор НОЦ
Ф.И.О. ответственных сотрудников          «Нанотехнологии».
                                          Тел. (8-382-2) 52-79-42,
                                          e-mail: ndm@main.tusur.ru.


                                          Кобзева Людмила Степановна
                                          Филимонова Марина Александровна
                                          Тел.: (3822) 51-05-30
                                          Факс: (3822) 51-32-62, 52-63-65
                                          E-mail: office@tusur.ru




                                           14
             Наименование                                         Сведения
Полное и сокращенное наименование         Государственное образовательное учреждение
образовательного учреждения               высшего профессионального образования
                                          "Московский государственный институт
                                          электронной техники (технический университет)" -
                                          МИЭТ
Организационно-правовая форма             Государственное учреждение
Основной государственный                  № 1027739615584, 25.11.2002
регистрационный номер и дата его
присвоения
Номер и дата выдачи лицензии на право     А № 165735 от 10 апреля 2006 г.
ведения образовательной деятельности с    по 10 июля 2011 г.
указанием срока окончания ее действия
Номер и дата выдачи свидетельства о       АА № 000159 от03 июля 2006 г.
государственной аккредитации с            по 03 июля 2011 г.
указанием срока окончания его действия
Ответственное лицо, назначенное           Гаврилов Сергей Александрович,
Заявителем для контактов                  проректор по научной работе,
                                          тел. 8-499-731-22-79
                                          E-mail: pcfme@miee.ru; lv@miee.ru
Адрес местонахождения юридического        124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
лица (юридический адрес)
Адрес для почтовых отправлений            124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
(фактический адрес)
Телефоны, факс Заявителя (с указанием     Тел. 8-499-731-72-19,
кода города), адрес электронной почты и         8-499-720-85-28
Ф.И.О. сотрудника, уполномоченного        Факс: 8-499-720-85-28,
Заявителем принимать телефонограммы,             8-499-710-54-29
факсимильные и иные сообщения             E-mail: lv@miee.ru, gan@miee.ru,
                                          Найда Галина Акимовна




                                           15
3. Основные          характеристики          отобранных         по     конкурсу
программ.

3.1. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным      образовательным      учреждением       высшего
профессионального    образования    «Иркутский     государственный
технический университет» для проектных компаний ГК «Роснанотех»,
реализующих инвестиционные проекты в области промышленного
производства поликристаллического кремния для нужд солнечной
энергетики и наноэлектроники.


      По заказу: ООО «Группа НИТОЛ», ID 854



      Основные характеристики программы

      Реализация программы профессиональной переподготовки сотрудников ООО
«Группа НИТОЛ» будет протекать в период с 01.04.2010 до 30.09.2010. Занятия будут
проводиться каждую неделю по вечерам в пятницу и днем в субботу.

      Слушателями являются 15 сотрудников ООО «Группа НИТОЛ»: технологи,
начальники смены, начальники лабораторий, начальники участков и цехов, аппаратчики,
начальник отдела проектного менеджмента; возраст сотрудников – от 25 до 36 лет.

      Краткое описание содержания программы

      Основной целью программы является переподготовка специалистов высшей
квалификации для кадрового обеспечения исследований и разработок в области
промышленного производства поликристаллического кремния для нужд солнечной
энергетики и наноэлектроники.
      В реализации программы будут участвовать ведущие преподаватели Иркутского
государственного технического университета, НИТУ «МИСиС» (соисполнитель проекта)
и специалисты-практики из ООО «Группа НИТОЛ».
      Программа разработана ИрГТУ и МИСиС для НИТОЛ и включает в себя 2 модуля:
      1.     Цикл, формирующий базовые компетенции инженера-разработчика, в
             области нанотехнологий в производстве поликристаллического кремния,
             способного работать с нанообъектами, состоящий из 4-х курсов по
             фундаментальным разделам физики и химии твердого тела и
             полупроводников, оптическим явлениям, физическим основам электроники
             и фотовольтаики;
      2.     Цикл из 7 специальных курсов, предназначенных для формирования
             специальных отраслевых компетенций инженера-разработчика в сфере
             производства поликристаллического кремния.
                                        16
      В базовый цикл входят следующие курсы:
            основы физики и химии твердого тела,
            физические основ электроники и фотовольтаики;
            физико-химия наноструктурированных полупроводниковых материалов;
            нанотехнологии и солнечная энергетика.
      Специальные курсы и лабораторные практикумы второго модуля будут охватывать
      следующие разделы:
            технологии производства, очистки и легирования поли- и
              монокристаллического кремния.
            оборудование и приборы для анализа чистоты и свойств поли- и
              монокристаллического кремния;
            химия и технология металлургического кремния;
            способы рафинирования кремния;
            химические технологии материалов и изделий электронной техники,
              технологии полупроводников и солнечных элементов;
            основы автоматизации производственных процессов получения
              поликристаллического кремния;
            организационные и технико-экономические вопросы производства
              поликристаллического кремния.

      Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы

       Сотрудники компании ООО «Группа НИТОЛ» проанализировали предложенный
макет учебного плана образовательной программы, в том числе учебные дисциплины,
объем и вид аудиторных занятий, оценили пригодность каждого модуля для получения
слушателями требуемых для ООО «Группа НИТОЛ» компетенций, предложили поправки
к программе, которые были приняты.
       Достигнута договоренность об участии сотрудников ООО «Группа НИТОЛ» в
учебном процессе, а также присутствии представителей работодателя в качестве
наблюдателей при проведении любых форм промежуточной аттестации представителей с
целью подтверждения объективности выставленных оценок и независимой оценки уровня
знаний слушателей. Председателем аттестационной комиссии по защите выпускных
квалификационных работ будет являться представитель ООО «Группа НИТОЛ».

      Управление программой

      Программой будет руководить Совет, в составе которого:
      1. Туляков В.В., директор по управлению персоналом и общественным связям
         ООО «Группа НИТОЛ»
      2. Петров Г. Н., генеральный директор ООО «Усолье-Сибирский Силикон»
      3. Толмачев С.В., начальник отдела проектного менеджмента ЗАО «НПО «Синеф-
         Инжиниринг»
      4. Афанасьев А.Д., проректор по научной работе ИрГТУ
      5. Смирнов В.В., зам. директора по учебной работе Физико-технического
         института ИрГТУ
      6. Осипов Ю.В., зав.кафедрой ППЭиФПП «НИТУ МИСиС»
                                       17
       Используемое оборудование

№     Наименование учебных               Описание аудиторного фонда, лабораторного и
п/п         аудиторий,                         технологического оборудования
          лабораторного и
         технологического
           оборудования
 1               2                                              3
1.    Газовый    хромато-масс     Предазначен     для    проведения      высокочувствительного
      спектрометр             с   количественного и качественного хроматографического и масс-
      автоинжектором              спектрометрического анализа веществ в газовой фазе. Позволяет
      Shimadzu QP2010 Plus (на    проводить анализ сложных смесей газообразных и легколетучих
      балансе ИрГТУ)              органических и неорганических веществ.
2.    ИК-Фурье-спектрометр        ИК-фурье      спектрометр     для     анализа     оптических,
      Shimadzu IRAffinity-1 (на   полупроводниковых кристаллов и жидкостей IRAffinity
      балансе ИрГТУ)              Предназначен для спектрофотометрии в ИК области спектра с
                                  разрешением 0.5 см-1 в диапазоне 7800-350 см-1. В составе
                                  прибора имеется приставка для изучения адсорбированных
                                  монослоев.
3.    УФ-спектрофотометр          Спектрофотометр     УФ/вид.    и   ближнего     ИК-диапазона
      Shimadzu UV-3600 (на        SHIMADZU UV-3600 позволяет измерять спектры поглощения и
      балансе ИрГТУ)              дифузного отражения оптических сред в широком диапазоне
                                  длин волн 185-3300 нм: УФ, видимого и ближнего ИК-
                                  диапазона. Данная функция обеспечивается тремя детекторами:
                                  фотоумножитель для УФ и видимой области, InGaAs и PbS
                                  детекторы для ближнего ИК-диапазона.
4.    Рентгеновский               Рентгенофазовый     анализ    широко      используется    для
      дифрактометр Shimadzu       идентификации веществ и их кристаллической структуры.
      XRD-7000 (на балансе        Рентгеновский дифрактометр XRD-7000 предназначен для
      ИрГТУ)                      проведения       качественного,      количественного        и
                                  кристаллографического     анализа   (типы     и    количества
                                  компонентов в исследуемых пробах, типы и константы
                                  кристаллических решеток, степень кристаллизации и др.).
5.    Электронный                 Методы электронной микроскопии являются одними из
      просвечивающий              наиболее распространенных методов изучения размера частиц,
      микроскоп LEO900 (на        распределения частиц по размерам и их надмолекулярной
      балансе ИрГТУ)              структуры, позволяют исследовать микроструктуру веществ и
                                  определять    пространственные     параметры     микро-     и
                                  нанообъектов.
6.    Сканирующий зондовый        Сканирующий зондовый микроскоп предназначен для
      микроскоп Solver 47P (на    комплексных исследований поверхности различных объектов с
      балансе ИрГТУ)              нанометровым пространственным разрешением на воздухе с
                                  использованием более 20 СЗМ измерительных методик. Прибор
                                  позволяет осуществлять трёхмерные измерения линейных
                                  размеров элементов структур, микро- и нанорельефа
                                  поверхности конденсированных сред, а также поверхностное
                                  распределение электрического потенциала, напряженности
                                  магнитного поля, проводимости, определения границ раздела
                                  фаз. Кроме того он позволяет осуществлять обработку
                                  поверхности с нанометровым разрешением.
7.    Установка водородного       Изучение процессов водородного восстановления силанов будет
      восстановления силанов      производиться на виртуальной модели установки, разработанной
      (на    балансе    ООО       в специализированной программной среде. Виртуальная модель
                                               18
      «Группа НИТОЛ»)           позволит    отражать     реальные   процессы   в   реакторе
                                восстановления, и исследовать влияние температурных,
                                концентрационных и газодинамических параметров на
                                эффективность восстановления и выход готового продукта.
                                Практические занятия будут проводиться на опытно-
                                промышленной установке производства поликремния компании
                                "Нитол"
8.    Станки               для Будет использоваться оборудование для обработки кремния
      пробоподготовки        и установленное на производственных площадях компании
      механической обработки "Нитол".
      поли- и монокремния (на
      балансе ООО «Группа
      НИТОЛ»)
9.    ICP-MS спектрометр (на Полностью автоматизированный прибор для элементного и
      балансе ИрГТУ)            изотопного анализа "PlasmaQuad PQ2 Turbo Plus" с
                                возбуждением ионов в индуктивно-связанной плазме.
10.   Спектрофлуориметр         Спектрофлуориметр SHIMADZU RF-5301PC предназначен для
      SHIMADZU RF-5301PC измерения спектров флуоресценции оптических сред в
      (на балансе ИрГТУ)        диапазоне 220 - 900 нм.
11.   Ионный имплантер (на Импульсный ионный имплантер MEVVA.RU позволяют
      балансе ИрГТУ)            создавать композитные слои материалов нанометровой толщины
                                с заданными параметрами концентрации металлических и
                                полупроводниковых наночастиц в кристаллических материалах.
12.   Измерительные стенды Стенды для измерения микросопротивлений, измерения
      (на балансе ИрГТУ)        гальваномагнитных и оптических свойств полупроводниковых
                                материалов,        определения       типа     проводимости
                                монокристаллического кремния.
13.   Рентгеновский             Спектрометр      предназначен   для    работы   в   области
      фотоэлектронный           микроэлектроники, химии для микроанализа поверхности
      спектрометр     PHI-5500
      ESCA фирмы "Perkin
      Elmer" (на балансе НИТУ
      МИСиС)
14.   Вторичная ионная масс- Метод получения ионов из низколетучих, полярных и
      спектрометрия             термически    нестойких соединений.       Одна из     самых
      (установка        фирмы чувствительных техник анализа поверхностей.
      "Perkin Elmer" PHI-6600
      SIMS) (на балансе НИТУ
      МИСиС)
15.   Электронный         оже- Исследование элементного состава твердофазных материалов
      спектрометр      PHI-680 методом электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) основано на
      AUGER       NANOPROBE анализе энергетического распределения Оже-электронов,
      фирмы           "Physical эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его
      Electronics" (на балансе возбуждении электронным пучком.
      НИТУ МИСиС)




                                            19
3.2. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным       образовательным      учреждением       высшего
профессионального образования «Томский государственный университет»
(ТГУ) для проектных компаний ГК «Роснанотех», реализующих
инвсетиционные проекты в области многопрофильного производства
пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий.


      По заказу: ООО «Сибспарк», ID 1089



      Основные характеристики программы

       Продолжительность программы – со 2 июля по 15 ноября 2010 года. Формат
обучения: дневная форма с использованием современных дистанционных
образовательных технологий. Режим занятий: 8 часов в день.
       Набор слушателей предполагается производить как из числа работников компании
(до 1/3 от общего числа слушателей), так и с рынка (преимущественно из числа молодых
специалистов - выпускников ТГУ) с последующих трудоустройством в компании.
Списочный состав слушателей определится на первом этапе выполнения проекта (март-
июнь 2010 года).
       Всего для работы в компании будет подготовлено 15 человек, обладающих
базовыми и специальными компетенциями в области многопрофильного производства
пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий, способных
осуществлять научно-исследовательскую и научно-производственную деятельность, в том
числе с использованием современного аналитического и научно-технологического
оборудования.

      Краткое описание содержания программы

       В основу программы положены разработки в области создания многопрофильного
производства пористых наноструктурных неметаллических неорганических покрытий
ученых Томского государственного университета и ООО «Сибспарк». Программа
направлена на формирование как общепрофессиональных, так и специальных
компетенций в овладении уникальными методами и методиками нанесения
наноразмерных покрытий с заданными свойствами.
       Программа ориентирована на специалистов, имеющих образование по
сопутствующим специальностям (специализациям), в данном случае это «химическое
материаловедение», «химия твердого тела», «физическая химия», «аналитическая химия»
и другие.
       Обучение будет организовано с использованием автоматизированной системы
дистанционного обучения «Электронный университет», которая позволяет организовать
доступ к информационному и учебно-методическому обеспечению программ,
осуществить опосредованные коммуникации, используя различные информационные
технологии для обеспечения непрерывной интернет-поддержки учебного процесса.
       Основу дистанционных занятий по программе составят видеолекции
преподавателей с применением технологий спутникового IP-вещания и формы активной

                                        20
работы со слушателями с помощью видеоконференцсвязи, аудиоконфернцсвязи и chat-
технологии. С помощью видеоконференций будут проводиться лекционные, практические
и семинарские занятия, консультации, будет осуществено руководство выполнением
проектных квалификационных работ слушателей. В процессе обучения будут
использованы новые средства и технологии, связанные с развитием Web 2.0: электронное
портфолио; аудио- и видеоподкаст и другие.
       Итоговая аттестация по программе будет осуществлена аттестационной комиссией,
сформированной из числа преподавателей программы и представителя работодателя, в
форме защиты выпускной квалификационной работы.
       Образовательная программа разработана специально для ООО «Сибспарк». Она
включает в себя следующие модули:
       Модуль 1. «Методы формирования неметаллических наноструктурных покрытий
путем локализации высокоэнергетических потоков на границе раздела фаз». В основе
этого модуля лежит уникальный материал, дающий теоретическое и практическое
введение в новую технологию МДО, объединенный в 3 учебных курса: «Методы
нанесения и удаления вещества с поверхности твердого тела в жидких средах»,
«Электрохимическое        оксидирование       материалов      путем      локализации
высокоэнергетических потоков на границе раздела фаз твердое тело–жидкость», «Методы
и устройства для нанесения наноструктурных покрытий в условиях микроплазменного
разряда».
       Модуль 2. «Методы изучения неметаллических наноструктурных и
композиционных материалов», которые являются важным элементом специальных
компетенций, поскольку технология МДО позволяет формировать покрытия как
различного состава (комплекса свойств), так и различного функционального назначения.
Материал модуля 2 организован в 3 курса – «Зондирование фотонами», «Зондирование
электронными пучками», «Зондирование полями».
       Модуль 3. «Свойства, применение, испытания и метрология покрытий», в котором
рассматриваются вопросы качества, метрологии, сертификации и введения новой
разработки в реестр продукции. Материал модуля 3 организован в 2 курса – «Свойства и
основные области применения наноматериалов и покрытий» и «Метрологическое
обеспечение контроля качества материалов, процессов и изделий».
       Вести программу будут преподаватели и сотрудники Томского государственного
университета, имеющие необходимую квалификацию, в том числе опыт научных
исследований в области пористых наноструктурных неметаллических неорганических
покрытий и межфазных границ, ученые степени (8 кандидатов и 4 докторов наук). В состав
обучающего коллектива входят и непосредственные разработчики технологии МДО и
оборудования (ООО «Сибспарк»).
       Поскольку для исследования наноразмерных наноструктурированных пористых
покрытий требуется широкий круг методов и дорогостоящих устройств, дополнительно
будут привлечены специалисты Сибирского федерального университета, а также
специалисты одного из двух центров: из Feng Chia University (Тайвань) или из Израиля
(завод Metal-Tech. Ltd.).

      Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы

      В разработке и реализации программы примут участие высококвалифицированные
специалисты ООО «Сибспарк», где разработаны технологические линии для нанесения
неметаллических неорганических керамических покрытий на поверхности металлов, и
филиала кафедры ТГУ в ОАО «Научно-исследовательский институт полупроводниковых

                                         21
приборов» (НИИПП). Предполагается проведение учебно-производственной практики
слушателей на базе этих компаний с использованием имеющегося там оборудования.

       Управление программой

       Для управления программой создается Совет программы в составе:
       1. Демкин Владимир Петрович, проректор по информатизации ТГУ
       2. Ивонин Иван Варфоломеевич, начальник научного управления ТГУ
       3. Слижов Юрий Геннадьевич, декан химического факультета
       4. Мокроусов Геннадий Михайлович, заведующий кафедрой аналитический
          химии ХФ
       5. Мамаев Анатолий Иванович, директор ООО «Сибспарк»
       6. Мамаева Вера Александровна, ведущий сотрудник ООО «Сибспарк»
       7. Можаева Галина Васильевна, директор института дистанционного образования
          ТГУ.


       Используемое оборудование


№          Наименование учебных           Описание аудиторного фонда, лабораторного
п/п      аудиторий, лабораторного и           и технологического оборудования
       технологического оборудования
 1                    2                                             3
1.    Комплекс         технологических,   ТГУ располагает широким аудиторным фондом,
      учебно-лабораторных и учебных       включая лекционный и лабораторный.
      помещений,      соответствующих     Базовая кафедра химического факультета, на
      действующим           санитарным    которой предполагается проведение основных
      нормам. (На балансе ТГУ)            лекционных и практических занятий с
                                          обучающимися располагает 9 аудиториями (325,
                                          319, 316, 314, 313, 409, 410, 412, 415) по 55 м2.
                                          Имеется компьютерный класс. В 313 ауд имеется
                                          лабораторное оборудование, на котором
                                          обучающиеся осваивают основные операции
                                          литографии. Кроме того, кафедра использует
                                          технологическую базу на филиале кафедры в
                                          ОАО НИИПП (г. Томск), а также может
                                          использовать технологическую базу ООО
                                          «Сибспарк», располагающуюся в технико-
                                          внедренческой зоне Томска.
2.    Специализированное                  Оборудование         является        оригинальным,
      оборудование, позволяющее           запатентовано в РФ.
      формировать пористые                Специализированное экономичное по
      наноструктурные неметаллические     использованию электроэнергии оборудование
      неорганические покрытия путем       позволяет путем пропускания импульсов тока
      локализации                         высокой плотности (не менее 120 А) с
      высокоэнергетических потоков в      изменяемой длительностью в пределах 20 мкс-
      нано и микроразмерных областях      200 мкс и напряжения до 500 В формировать

                                              22
     на границе раздела фаз (твердое   наноструктурные неметаллические
     тело-жидкость, жидкость-          неорганические покрытия.
     жидкость).
     (На балансе ООО «Сибспарк»)
3.   Информационно-измерительный       Оборудование       является     оригинальным,
     комплекс для измерения            запатентовано в РФ.
     параметров быстротекущих          Информационно-измерительный          комплекс
     процессов при исследовании        предназначен    для    измерения   параметров
     электрохимических и               быстротекущих процессов при исследовании
     микроплазменных явлений           электрохимических       и    микроплазменных
     информационно измерительный       явлений; а также для определения параметров
     комплекс для определения          быстротекущих процессов при исследовании
     параметров быстротекущих          электрохимических и микроплазменных явлений
     процессов при исследовании
     электрохимических и
     микроплазменных явлений.
     (На балансе ООО «Сибспарк»)
4.   Оборудование для изучения         Потенциостат IPC-Pro-М
     электрохимических процессов на    Гальваностат IPC-Pro-М
     межфазной границе твердое тело-   Потенциостат П-5827
     жидкость путем снятия             Полярограф ПУ-1, согласованный с
     вольтамперных характеристик и     компьютером через интерфейсный блок
     нанесения покрытий                «ГрафИТ-2» (2 шт).
     электрохимическим методом. (На    рН метр лабораторный типа рН-150МИ
     балансе ТГУ)
5.   Современное оборудование для      Электронная сканирующая и атомно-силовая
     проведения исследований и/или     микроскопия, рентгеновская дифрактометрия,
     измерений различными              рентгенофлуоресцентная, фотолюминесцентная
     физическими, оптическими,         и     оптическая    спектроскопия,      атомно-
     физико-химическими,               эмиссионная        спектроскопия,         Фурье
     термическими и др. методами.      спектрометрия    исследовательского      класса,
     (На балансе ТГУ)                  электронная и молекулярная спектроскопия,
                                       масс-спектрометрия      с    ионно-плазменным
                                       возбуждением      и      лазерной     абляцией,
                                       дериватография,       измерение        площади
                                       поверхности и пористости, калориметрия и др.
6.   Телекоммуникационное              Оборудование      Телепорта       и      центра
     оборудование и программное        информационных       сетей     ТГУ,    включая
     обеспечение, позволяющее          телекоммуникационное,                серверное,
     реализовывать образовательные     компьютерное и презентационное обоудование.
     программы с применением
     дистанционных образовательных
     технологий и
     видеоконференцсвязи.
     (На балансе ТГУ)




                                           23
3.3. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным         образовательным       учреждением       высшего
профессионального     образования     «Белгородский    государственный
технологический университет им. В.Г. Шухова» (БГТУ) для предприятий
наноиндустрии Белгородской области, работающих в области производства
бесцементных       минеральных       наноструктурированных     вяжущих
негидратационного твердения и композиционных материалов строительного
назначения на их основе


     По заказу: ООО «Управляющая компания ЖБК-1», ОАО Стройматериалы»,
ОАО «Белгородасбестоцемент», ООО «Аэробел», ООО «Первая Строительная
Компания», ООО «Экостройматериалы», ООО «Яковлевостройдеталь».



      Основные характеристики программы

       Программа будет реализована во втором полугодии 2010 года. Слушателями
программы профессиональной переподготовки в области производства бесцементных
минеральных наноструктурированных вяжущих негидратационного твердения и
композиционных материалов строительного назначения на их основе станут технические
специалисты предприятий строительной индустрии городов Белгорода, Екатеринбурга,
Челябинска и Улан-Удэ.
       Образовательная программа включает очную и дистанционную форму обучения.
Кроме традиционных форм обучения будут применяться активные формы обучения с
элементами дифференцированного (индивидуального) обучения, с учетом специфики
минерально-сырьевой базы регионов, их предприятий стройиндустрии, особенностей
технологических схем производства, квалификации слушателей, опыта практической
работы и т.д. При этом одним из доминирующих факторов индивидуализации учебного
процесса является конкретный вид продукции, производство которого переориентируется
на нанотехнологические приемы и использование наноструктурированных вяжущих.
       Для расширения доступности образовательных услуг в рамках образовательного
проекта переподготовки, а также обеспечения контроля работодателей за учебным
процессом и осуществления контрольных функций, предлагается организация системы
информационной поддержки обучаемых с применением дистанционных образовательных
технологий на базе единого научно-образовательного информационного пространства.

      Дистанционный образовательный процесс будет включать в себя:
      – проведение лекционных курсов преподавателей Факультета наук о материалах
        МГУ им. М.В. Ломоносова (ФНМ) с использованием видеоконференцсвязи для
        реализации постоянного процесса обучения;
      – организацию видеоконференций по ключевым вопросам в области обучения, в
        том числе и с привлечением ведущих экспертов РАН и РААСН в области в
        необходимых предметных областях;

                                        24
      – изучение обучающих материалов, размещенных на информационном портале, с
        последующим тестированием в режиме on-line;
      – информационную поддержку с использованием возможностей современной
        Web-инфраструктуры (видеоконференцсвязь, IP-телефония, e-mail, форум
        информационного портала и т.д.).

      Кроме этого, для оперативного решения вопросов, связанных с аналитическими
исследованиями наносистем, для обучающихся будет организован удаленный доступ к
инструментально-аналитическим ресурсам ЦКП ФНМ МГУ им. М.В. Ломоносова с
использованием Web-технологий.

       Образовательный процесс (лекционные, лабораторные и практические занятия)
будет организован на базе аудиторного, лабораторного и технологического фонда:
       1. БГТУ им. В.Г. Шухова:
          – Институт строительного материаловедения (ИСМ);
          – НИИ Наносистемы в строительном материаловедении (НИИ НСМ);
          – Инновационный        опытно-промышленный        центр     композиционных
             наноструктурированных материалов (ИОПЦ КНМ).
       2. МГУ им. М.В. Ломоносова:
          – Факультет наук о материалах;
          – Центр коллективного пользования МГУ им. М.В. Ломоносова «Технологии
             получения наноструктурированных материалов и их комплексное
             исследование»).

      Для ознакомления с современной аппаратурой и методами аналитических
исследований наносистем, а также приобретения навыков практической работы и
взаимодействия с обслуживающим аппаратуру инженерно-научным персоналом будет
организован выезд группы обучающихся в ЦКП ФНМ МГУ им. М.В. Ломоносова.
      Технологическая практика слушателей будет проводиться на базе инновационного
опытно-промышленного        центра     композиционных       наноструктурированных
композиционных материалов при БГТУ им. В.Г. Шухова, в котором имеется опытно-
промышленный цех по производству наноструктурированных вяжущих и материалов на
их основе. Цех оборудован механохимическими реакторами для производства
наноструктурированного вяжущего, смесителями турбулентного типа и другим
технологическим оборудованием.

      Краткое описание содержания программы

      Разработанный учебный план образовательной программы профессиональной
переподготовки имеет модульную структуру, состоящую из семи, дисциплинарно
взаимосвязанных между собой модулей, из которых:
       – 5 модулей включают фундаментальные основы природы наноразмерного
           состояния, применительно к наносистемам в строительном материаловедении,
           основы химической технологии бесцементных наноструктурированных
           вяжущих негидратационного твердения и технологические аспекты
           производства материалов на их основе:
              o Основы нанотехнологии и применения наносистем.
              o Методы синтеза и исследования наносистем и материалов.
              o Минерально-сырьевая            база       нанодисперсного         и
                 наноструктурированного сырья.
                                        25
              o Композиционные наноструктурированные вяжущие. Технология
                получения, состав и свойства.
              o Технология производства материалов и изделий с использованием
                нанострук-турированных минеральных вяжущих.

       –   2 модуля содержат различные виды практической подготовки,
           самостоятельную работу и выполнение выпускной квалификационной работы.

      Лабораторные занятия, проводимые на базе головной организации и организации-
соисполнителя, будут выполняться с целью инструментального и аналитического
изучения:
      – минерального сырья для производства наноструктрированных вяжущих, в
          аспекте особенностей его фазово-размерной гетерогенности в зависимости от
          геолого-региональной принадлежности;
      – дисперсионных и реотехнологических характеристик наноструктурированных
          вяжущих;
      – структуры, микроморфологии, физико-механических и эксплуатационных
          свойств композиционных материалов на их основе в зависимости от вида
          наноструктурированного вяжущего и технологии его производства.

      Кроме этого, лабораторные занятия будут проводиться с целью освоения
обучающимися     технологических    приемов,    применяемыми    при    получении
наноструктурированных вяжущих веществ:
      – методы активации исходных сырьевых материалов (механо-, термо-,
         термохимической, механохимической и др.);
      – методы направленного механохимического синтеза высококонцентрированных
         вяжущих систем негидратационного типа твердения;
      – методы комплексной модификации на наноуровне высококонцентрированных
         вяжущих систем – получения наноструктурированного вяжущего (НВ);
      – методы получения нанодисперсных модификаторов (НДМ) для комплексных
         вяжущих.

      Учебным планом предусмотрена итоговая квалификационная работа, которая будет
рецензироваться ведущими специалистами предприятий строительного комплекса.
Защита итоговой квалификационной работы будет проходить перед аттестационной
комиссией, в которую будут входить представители координационно-наблюдательного
Совета с участием работодателей, как очной форме, так и с использованием средств
видеоконференцсвязи.
      Выпускные и квалификационные работы, после согласования их тематики с
предприятиями-работодателями и с координационно-наблюдательным Советом, будут
направлены     на   изучение  и    разработку   основных   этапов    производства
наноструктурированных композиционных вяжущих и материалов строительного
назначения на их основе:
      – минералого-генетический анализ выбора сырьевых компонентов;
      – технологические этапы получения наноструктурированных вяжущих (синтез и
         стабилизация);
      – получение и производство строительных материалов различного назначения на
         их основе;
      – анализ имеющихся на предприятиях технологических линий и оборудования с
         целью перевооружения существующего предприятия или модернизации,
                                        26
         подбор оборудования для технологической линии по выпуску заданной
         продукции и т.д.

      Кроме специалистов головной организации – БГТУ им. В.Г. Шухова, в реализации
образовательного проекта профессиональной переподготовки, для консолидации
кадровых, аналитических и технологических ресурсов, будут принимать участие ученые и
специалисты организации-соисполнителя – МГУ им. М.В. Ломоносова в лице Факультета
наук о материалах и Центра коллективного пользования МГУ им. М.В. Ломоносова
«Технологии получения наноструктурированных материалов и их комплексное
исследование».
      Соисполнителями данного образовательного проекта будут проводиться
лекционные занятия по 2-му модулю программы, имеющему фундаментальную
предметную направленность, а также лабораторные занятия по применению современных
аналитических и инструментальных методов исследования сырьевых материалов,
наноструктурированных вяжущих и композитов на их основе.

      Участие проектных компаний в разработке и реализации программы

      При разработке содержания учебной программы переподготовки учитывались
потребности предприятий промышленности строительных материалов, выявленные в
результате интервьюирования их представителей:
      – модуль       1  программы     скорректирован    с   учетом   необходимости
          общетеоретической подготовки по вопросам наноструктурированных вяжущих
          различных типов твердения, областей их возможного применения, а также роли
          и    путей   использования    различных    наносистем    в   строительном
          материаловедении.
      – модуль 3 программы скорректирован с учетом различного геолого-
          формационного районирования регионов РФ в аспекте различных источников
          минерального сырья для производства наноструктурированных вяжущих.
      – модуль 5 сформирован с учетом обеспечения обучающихся специальными
          компетенциями в области производства наноструктурированных вяжущих и
          материалов на их основе с учетом технологических схем производства
          предприятий, представивших заявки на проведение переподготовки своих
          специалистов.

      Управление программой

      Для организации внешней оценки эффективности образовательной программы
будет создан координационно-наблюдательный Совет из числа исполнителей проекта,
представителей работодателей, экспертов ГК "Роснанотех", независимых экспертов от
РААСН и представителей Департамента экономического развития Белгородской области.
От лица работодателей в состав Совета могут войти первые технические специалисты и
(или) заместители директоров по персоналу, предпочтительно, с наличием ученой
степени.
      Координационно-наблюдательный Совет определяет кадровые потребности
предприятий до начала реализации образовательного проекта, на начальном этапе
реализации образовательного проекта организует встречу сторон для оперативной
коррекции учебной программы с целью ее эффективной реализации, в соответствии с
требованиями работодателей, определяет периодичность и методы мониторинга учебного

                                        27
процесса, участвует в защите выпускных квалификационных работ и (или) осуществляет
их рецензирование.
      В состав координационно-наблюдательного Совета входят:
      1. от организации-исполнителя – первый проректор по научной и инновационный
          деятельности БГТУ им. В.Г. Шухова – д.т.н., проф., чл.-корр. РААСН Лесовик
          В.С.;
      2. от организации-соисполнителя – зам. декана ФНМ МГУ им. М.В. Ломоносова
          д.х.н., проф., чл.-корр. РАН Гудилин Е.А.
      3. от Департамента экономического развития Белгородской области – первый
          заместитель начальника Шулешко А. В.;
      4. от работодателей – директор ООО «Первая Строительная Компания», к.т.н.
          Ряпухин Н.В., заместитель генерального директора по инновационным
          технологиям ООО «Управляющая компания ЖБК-1» Урванов А.Б.;
      5. от РААСН – проф. кафедры «Строительные материалы и технологии»
          Петербургского государственного университета путей сообщения, д.т.н., акад.
          РААСН Комохов П.Г.;
      6. от ГК «Роснанотех» – руководитель группы по работе с образовательными
          учреждениями Департамента образовательных программ Роснано Нисимов С.У.


         Используемое оборудование


 №       Наименование учебных                     Описание аудиторного фонда,
 п/п             аудиторий,             лабораторного и технологического оборудования
              лабораторного и
             технологического
               оборудования
     1               2                                           3
               Учебная лекционно-лабораторная аудитория наноструктурного анализа
                      с удаленным Web-доступом (число посадочных мест - 40)
 1       Сканирующий зондовый Система сканирования
         микроскоп NanoEducator Сканирование образцом
         – 6 шт.                  Диапазон измерений линейных размеров – в плоскости XY, не
                                  менее 100 мкм
                                  Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, не менее 10
                                  мкм
                                  Пошаговое сканирование (Мин. шаг) –         2Å
                                  Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений
                                  линейных
                                  размеров в плоскости XY – не более 5%
                                  Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений
                                  линейных
                                  размеров по оси Z – не более 5%
                                  Разрешение в плоскости XY – не более 50 нм
                                  Разрешение по оси Z – не более 2 нм
                                  Максимальное число точек сканирования по X и Y 1024х1024
                                  Нелинейность сканирования в плоскости XYне более 30 нм
                                  Неортогональнасть сканера в плоскости XY не более 5°
                                  Неплоскостность сканирования в плоскости XY     не более 500
                                  нм
                                  Дрейф в плоскости XY         не более 5 А/c
                                  Дрейф по оси Z не более 5 А/c
                                              28
                             АСМ режим X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм с использованием
                             острой иглы и виброизоляции Z – 3 нм
2   Интерактивная доска      Данная интерактивная доска способна одновременно
    Hitachi Starboard FX -   воспринимать несколько точек касания. Это позволяет управлять
    77Duo                    ею с помощью обеих рук (использовать жесты) или работать на
                             одной доске сразу нескольким пользователям. Помимо
                             управления и рисования с помощью электронного маркера
                             Hitachi Starboard FX -77 Duo позволяет делать все то же самое
                             пальцем или любым другим объектом.
                             Основные технические характеристики:
                             размер рабочей поверхности: 158 х 118 см (диагональ 77 ")
                             технология определения положения маркера: cистема датчиков
                             инфракрасных лучей
                             частота выборки: приблиз. 100 точек/сек. (при использовании
                             USB 1.1 Full)
3   Документ-камера          Позволяет демонстрировать на большом экране любые
    AverVision CP130         трехмерные объекты, бумажные документы. Предусмотрена
                             возможность 8х увеличения для демонстрации мелких деталей.
                             Гибкий штатив «гусиная шея» обеспечивает полную свободу в
                             выборе ракурсов при демонстрации трехмерных объектов.
                             Основные технические характеристики:
                             Разрешение XGA (1024x768)
                             Частота смены кадров 12 кадров/сек
                             Минимальное расстояние до объекта съемки 2,5 см
                             Площадь захвата А4 Landscape
4   Проектор                 Проектор способен создавать изображение размером 152 см (60
    Hitachi CP-A100          дюймов) с расстояния всего 42 см благодаря использованию
                             системы линз и зеркал. Проектор можно разместить
                             максимально близко к экрану, поэтому изображению не грозит
                             затемнение, мешающее просмотру (таким образом, лектор при
                             работе с доской не заслоняет проецируемое изображение на
                             экране).
                             Основные технические характеристики:
                             Яркость 2500 лм
                             Контрастность 400:1
                             Цветопередача16 млн. цветов
                             Форматы изображения 4:3
5   Система                  Обеспечивает возможность свободного и динамичного обмена
    видеоконференцсвязи      идеями и мнениями между участниками как бы далеко они не
    Sony PCS-1P              находились друг от друга! Система PCS-1P предоставляет
                             эффективные возможности для обмена данными, которые дают
                             дополнительные преимущества по сравнению с обычными
                             системами аудио и видеоконференцсвязи. Устройство PCS-1P
                             значительно улучшает процесс коммуникации в дистанционном
                             образовании.
                             Основные технические характеристики:
                             Стандарты H.261, H.263, H.263+, MPEG-4 SP@L3
                             Разрешение QCIF, CIF
                             Частота кадров Макс. 30 кадр/с
                             Режим кадр в кадре Размер вспомогательного экрана: 1/9 (в
                             одном из четырех углов).
6   Система интерактивного   Позволяет быстро провести контроль знаний по определенным
    опроса                   темам. Основная особенность в том, что ПО полностью
    Turning Point 2006       интегрировано с программами Microsoft Office, то есть можно

                                        29
                              создавать тесты в Word, например, а они будут легко
                              конвертироваться в программу, а результаты будут сразу
                              выстраиваться в презентации Power Point.
                              Основные технические характеристики:
                              Размеры: 8.5 х 5.3 х 0.8 см
                              Вес (с батарейками - 2-х круглые литиевые батарейки CR2032
                              3В): ~ 30 г.
                              Один ресивер может работать на расстоянии порядка 60 м.
                              Всегда в спящем режиме - энергия расходуется только при
                              нажатии кнопок.
                              Одновременно могут работать до 82 сеансов интерактивного
                              голосования.
        Учебно-исследовательская лаборатория синтеза и исследования наносистем.
          ИК-спектроскопия и дисперсионный анализ (число посадочных мест - 20)
7    Микросайзер              Лазерный анализатор частиц, модель 201С, измеряет весовую
                              долю частиц размеров, мкм – 0,2 – 600.
8    ИК-спектрометр           Спектральный диапазон, см-1 – от 370 до 7500
9    Микроскоп оптический     Петрографический поляризационный микроскоп. Увеличение
     ПОЛАМ-Р 312              30-900.
10   Саксклет                 Установка для изучения химического разложения образцов
                              бетона и пород, а также позволяет воспроизвести в
                              уменьшенном масштабе климатические циклы процессов
                              поверхностного выветривания и проследить ряд явлений,
                              типичных для экзогенных процессов
11   Аналитические весы АВ- Вспомогательное лабораторное оборудование.
     60-01;
     весы ВЛТЭ – 500;
     рН-метр И-500;
     прибор для определения
     удельной поверхности Т-
     3.
                Учебно-научная лаборатория композиционных материалов
                              (число посадочных мест - 20)
12   Дробилка конусная        Наибольший размер исходного объекта, мм – 5, объем чаши, дм3
     ВКМД-6                   – 3.
13   Вибромельница-           Размер измельчаемых частиц исходного материала, мм, не более
     истиратель               – 3; объем разовой загрузки чаши, см3 – 20…50.
14   Смеситель для сухих      Вспомогательное лабораторное оборудование.
     порошков «Турбула»
     лабораторный,
     гравитационного типа;
     конус балансирный
     Васильева КВБ;
     приборы Вика ОГЦ-1 – 2
     шт.;
     воронка ЛОВ для
     определения насыпной
     плотности;
     весы ВЛТЭ-1200;
     аквадистиллятор
     электрический АДЭ-5;
     прибор ПГР для
     установления густоты
     раствора.

                                          30
     Весы торсионные ВТ-
     500.
     Набор сит
     Дефектоскоп УК-14ПМ
     Сушильные шкафы – 2
     шт.
                    Лаборатория направленного гидротермального синтеза
15   Лабораторный стенд для Данная установка позволяет проводить процесс
     моделирования процесса гидротермального синтеза в автоматическом режиме по заранее
     гидротермального            заданным параметрам.
     синтеза силикатных
     материалов
     Лаборатория механохимического синтеза и современных методов диспергирования
16   Мельница           шаровая Лабораторное        оборудование    для     механоактивации,
     МШП-100                   с диспергации и механохимического синтеза с различной
     корундовыми мелющими энергонагруженностью                     для             получения
     телами и футеровкой;        наноструктурированных сырьевых материалов
     перемешивающее               Тонкий помол материала до удельной поверхности 5000
     устройство ES-8400;         м2/кг.
     перемешивающее              Комплект вспомогательного оборудования и приборов.
     устройство ES-8300;
     планетарная мельница;
     шкаф сушильный КВС;
     вакуумная        установка
     ЭКВ;
     весы OHAUS Navigator
                          Лаборатория высокотемпературного синтеза
17   Шкаф сушильный КВС;         Лабораторное оборудование для проведение процесса
     печь муфельная СНОЛ-        термической обработки для закрепления и образования
     1,6;                        наноструктур в строительных композитах
     высокотемпературные
     электро- и силитовые и
     хромитлантановые печи
     (Тмакс.от 1000 до 17000 С)
                Учебно-исследовательская лаборатория поверхностных явлений
                       и дисперсных систем (число посадочных мест - 20)
18   Весы        аналитические, Данное оборудование позволяет измерить степень влияния
     ротационный                 активированных поверхностей ультрадисперсного сырья на
     вискозиметр Реотест-2; физико-механические свойства композиционных материалов
     испаритель                  полученных на основе бесцементных наноструктурированных
     ротационный;                вяжущих негидратационного твердения
     пресс для измельчения;
     печь муфельная;
     центрифуга ЦЛП;
     РН-метр 121;
     вольтметр цифровой Ф
     4214;
     РН-метр ЭВ 74;
     весы электрические ВЛЭ;
     спектрофотометр
     (SPECORD) Спекорд 75
     IR;
     торсионные весы;
     Фотометр FLAPHO 40;

                                           31
     РН-метр OP-213;
     жидкостной
     хроматограф;
     шкаф сушильный;
     регулятор температуры;
     испаритель вакуумный;
     блескомер;
     пропарочная камера;
     регулятор температуры
       Центр Коллективного Пользования Факультета Наук о Материалах МГУ им.
                                     М.В.Ломоносова
19   Просвечивающий           ускоряющее напряжение 200 кВ
     электронный микроскоп    макс. увеличение 800000
     JEM-2000FXII (JEOL,      разрешение 0,3 нм
     Япония 1988)             Тип катода: LaB6
20   Сканирующий              Прибор предназначен для проведения исследований во всех
     электронный микроскоп    областях материаловедения, в области нано- и биотехнологий.
     высокого разрешения      Прибор позволяет работать с образцами большого размера,
     Supra 50 VP              кроме того он поддерживает режим работы в условиях
     (LEO,Германия, 2003) с   переменного давления для исследования непроводящих образцов
     системой микроанализа    без подготовки.
     INCA Energy+ Oxford      Параметры:
                              ускоряющее напряжение 100 В - 30 кВ (катод с полевой
                              эмиссией)
                              макс. увеличение до х 900000
                              сверхвысокое разрешение - до 1 нм (при 20 кВ)
                              вакуумный режим с переменным давлением от 2 до 133 Па
                              Ускоряющее напряжение - от 0.1 до 30 кВ
                              моторизированный столик с пятью степенями свободы
                              разрешение EDX детектора 129 эВ на линии Ka(Mn), скорость
                              счета до 100000 имп/с.
21   Сканирующий зондовый Универсальный СЗМ комплекс, сочетающий в себе возможности
     микроскоп                сканирующего туннельного и атомно-силового микроскопа.
     NT-MDT NTEGRA Aura       Позволяет     производить    исследования     как   топологии
     (NT-MDT, Россия 2005)    поверхности, так и электрофизических свойств наночастиц
                              Параметры:
                              Режимы работы: CTM/ АСМ (контактная + полуконтактная +
                              бесконтактная)    /    Латерально-Силовая     Микроскопия   /
                              Отображение Фазы / Модуляция Силы / Отображение
                              адгезионных Сил / МСМ/ ЭСМ/ Сканирующая Емкостная
                              Микроскопия/ Метод Зонда Кельвина / Отображение
                              Сопротивления Растекания / Литография: АСМ (Силовая и
                              Токовая), CTM.
                              Атмосфера: съемка на воздухе или в вакууме до 10-2 Торр
                              Температура съемки: от комнатной до 150оС
                              Максимальное поле сканирования: 110 х 110 мкм
22   Металлографический       Микроскопия в темном и светлом поле.
     микроскоп Eclipse 600pol Коноскопическая и ортоскопическая проекция.
     (Nikon)                  Изучение анизотропных кристаллов.
                              Параметры:
                              Режимы: просвет + отражение.
                              Типы освещения: диаскопическое, эпископическое
                              макс. увеличение 1000 крат
                              разрешение до 0,5 мкм

                                          32
                                 светофильтры       для    коррекции      гаммы    и     яркости,
                                 монохроматизации, независимые поляризаторы
                                 разрешение до 0,5 мкм.
23   Рентгеновский               Рентгеновская трубка с вращающимся анодом;
     дифрактометр с              максимальная мощность рентгеновской трубки 18 кВт;
     вращающимся анодом          материал анода – медь;
     Rigaku D/MAX 2500           сечение рентгеновского пучка на выходе трубки 5х10мм;
     (Япония)                    вертикальный гониометр с возможностью Theta, 2Theta,
                                 Theta/2Theta сканирования от 0.7 до 145 grad по 2Theta;
                                 плоский графитовый монохроматор на отраженном пучке;
                                 сцинтилляционный детектор;
                                 автоматический сменщик на 6 образцов с возможностью
                                 вращения по Phi;
                                 высокотемпературная камера для анализа фазового состава
                                 образцов от комнатной температуры до 1350С в атмосферах
                                 различных газов от 10 Па до атмосферного давления.
24   Анализатор размеров         Диапазон определяемой молекулярной массы от 1x103 до 2x107
     наночастиц Zetasizer        Дальтон. Диапазон размеров 0.6 нм – 6.0 мкм. Лазер: 4 мВт, 633
     Nano ZS (Malvern            нм, Class 1, в соответствии с EN 60825-1:2001 и CDRH.
     Instruments, UK)
25   Лазерный анализатор         Лазерный дифракционный микроанализатор для
     частиц FRITCH               автоматического гранулометрического экспресс-анализа
     Analyzitte 22 (Германия);   материала в сухом состоянии или в суспензии на основе
                                 дифракции сходящегося лазерного луча. Диапазон размеров
                                 частиц 0,1-1250 мкм. Наиболее компактная версия, полная
                                 автоматизация измерений, возможность комплектации
                                 диспергирующим устройством в жидкостях или сухим
                                 диспергирующим устройством.
26   Спектрофотометр             Двухлучевой спектрометр с вогнутой голографической
     Lambda 35                   решеткой. Предназначен для проведения различных
     (Perkin-Elmer, США -        аналитических исследований оптических спектров в УФ и
     2002)                       видимой областях, для измерения концентрации различных
                                 веществ в водных растворах, продуктах питания, почвах и т.д.
                                 - Дейтериевая и вольфрамо-галогеновая лампы с
                                 автоматизированным переключением светового пучка.
                                 - Интегрирующая сфера для съемки спектров диффузного
                                 отражения
                                 - Приставка для регулирования угла падения
                                  Параметры:
                                 Спектральная ширина щели: 0.5-4 нм
                                 Диапазон измерения спектральных коэффициентов
                                 направленного пропускания (%Т): 0.0001 - 1000
                                 Погрешность установки длины волны: 0.1 нм
                                 Скорость сканирования: 7.5-2880 нм/мин
                                 Уровень шума, Б (от пика к пику при 0Б, 500 нм): 0.0003
                                 Соотношение Сигнал/Шум: 12500:1
                                 Управление и обработка данных: с ПС под управлением
                                 программы UV WinLab
                                 Спектральный диапазон: 190-1100 нм
27   ИК-спектрофотометр          Фурье-спектрометр предназначен для регистрации и
     Spectrum One                исследования оптических спектров в инфракрасной области.
     (Perkin-Elmer, США,         Спектральный диапазон: 350 – 7800 см-1
     2003)                       Разрешение: 4 см-1
                                 Отношение сигнал/шум: 24000:1

                                             33
                              Абсолютное отклонение линии 100% пропускания: 0.5%
                              Абсолютная погрешность градуировки волновых чисел: 0.5 см-1
                              Держатель для твердых проб диаметром 13 мм.
                              Программное обеспечение Spectrum for Windows.
28   Люминесцентный           Однолучевой люминесцентный спектрометр, работающий в
     спектрометр LS 55        режимах флуоресценции, фосфоресценции, хеми- и
     (Perkin-Elmer, США -     биолюминесценции.
     2004)                    Источник: ксеноновая лампа, работающая в пульсирующем
                              режиме с частотой 50-60 Гц.
                              Монохроматоры: типа Монка-Джиллисона
                              Область длин волн: возбуждение 200-800 нм, эмиссия 200-900
                              нм
                              Спектральная ширина щели: возбуждение 2.5-15 нм, эмиссия
                              2.5-20 нм, инкремент 0.1 нм
                              Точность установки длины волны: 1 нм
                              Отношение сигнал/шум: 2000:1 (RMS) при измерении базовой
                              линии, не хуже 500:1 для полосы комбинационного рассеяния
                              воды при длине волны возбуждающего излучения 350 нм.
                              Скорость сканирования: 10-1500 нм/мин
29   Термоанализатор Perkin   Диапазон температур - от комнатной до 1300°C
     Elmer Pyris Diamond      Скорость нагрева - от 0.01 до 100 °C/мин
                              Масса навески - до 200 мг
                              Материал тиглей - Pt
                              Чувствительность весов - 0.2 мкг
                              Атмосфера: воздух, инертный газ или вакуум (до 2 Торр)
                              Скорость потока газа - до 1000 мл/мин
                              Формат вывода: Excel файл
30   Анализатор       сорбции Параметры:
     газов Nova 4200e         Измеряемая площадь поверхности (m2/g):
     (Quantachrome, США,       минимальная:           0.01
     2005)                      максимальная: >2,000
                              Диаметр пор: 3.5 - 2,000Å
                              Количество станций дегазации (до 450 ºС): 4
                              Количество станций измерений: 4
                              Изотермы адсорбции-десорбции
                              Одноточечный метод BET
                              Многоточечный метод BET
                              Площадь микропор
                              Объем микропор
                              Распределение пор по размерам
                              Фрактальная размерность




                                         34
3.4. Программа профессиональной переподготовки кадров и модуль
повышения      квалификации,       предложенные       Государственным
образовательным учреждением высшего профессионального образования
«Уральский государственный технический университет - УПИ имени
первого Президента России Б.Н.Ельцина» для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
высокоэффективных катализаторов для нейтрализации газовых выбросов.


     По заказу: ОАО «Уральский электрохимический комбинат» Завод
автомобильных катализаторов, г. Новоуральск, Свердловской области, ID 466



      Основные характеристики программы

        Образовательная программа разрабатывается для проектной компании ГК
«Роснанотех» - Уральского завода автомобильных катализаторов Новоуральского
электрохимического комбината (г.Новоуральск, Свердловской области) в соответствии с
заказом, сформированным по итогам выявления кадровых потребностей проектной
компании.
        Продолжительность программы обучения - 10 месяцев, ее реализация начинается
1 июня 2010 г. и завершается 31 марта 2011 г. Слушатели, успешно освоившие программу,
получают диплом государственного образца о профессиональной переподготовке.
        Формат обучения: 4 интенсивных учебных сессии продолжительностью одна
неделя каждая (40 часов) с интервалами между сессиями по 1,5 месяца; остальные
занятия проводятся дистанционно.
        Слушателями программы являются работники Уральского завода автомобильных
катализаторов. В период и после завершения обучения слушатели трудоустроены на
заводе, имеют хорошие перспективы профессиональной карьеры. Группа обучающихся
будет состоять из 15 человек, среди них основная часть - это инженерно-технический
персонал, включая инженеров-конструкторов и инженеров-технологов. Примерно 20%
слушателей программы – руководители производственных и управленческих
подразделений завода. В настоящее время формируется списочный состав слушателей
программы с активным участием руководства проектной компании.
        Слушатели программы получат             новые знания в сфере разработки
нанокатализаторов, овладеют навыками работы на современном нанодиагностическом и
нанотехнологическом оборудовании, ознакомятся с передовыми методами организации и
управления высокотехнологическим производством. Новые профессиональные
компетенции, полученные слушателями программы, будут способствовать повышению их
квалификации, производительности труда, освоению новых инновационных технологий,
что обеспечит успешное развитие проектных компаний ГК «Роснанотех» и внесет вклад в
формирование наноиндустрии как эффективного сектора экономики уральского региона.
        Программа имеет хорошие перспективы для своего                  развития. По
предварительным оценкам общая потребность в профессиональной переподготовке
работников проектных компаний, занимающихся производством и использованием
нанокатализаторов, составляет 170 человек, что значительно превышает численность
пилотной группы. В этой связи разработанная программа в полном объеме будет

                                         35
использована для профессиональной переподготовки последующих 7-8 групп слушателей
в течение 2011-2012 гг.
        Модули программы представляют самостоятельный интерес для осуществления
на их основе повышения квалификации (100-150 часов) специалистов проектных
компаний и других предприятий химической промышленности. Предполагается
разработать модуль «Технико-экономические основы организации и управления
высокотехнологичным производством» для его использования на любых предриятиях
наноиндустрии.

      Краткое описание содержания программы.

      Базовым принципом, положенным в основу образовательной программы
профессиональной переподготовки, является реализация компетентностного подхода,
который обеспечит формирование способности специалиста самостоятельно применять
полученные в процессе обучения знания, умения и навыки.
      Программа разрабатывается в соответствии с заказом, сформированным по итогам
выявления кадровых потребностей ОАО «Уральский электрохимический комбинат»,
предусматривающих формирование требуемых практических знаний, навыков и умений,
достаточных для их эффективного применения на предприятиях.
      Основными составляющими образовательной программы являются учебные
модули, обеспечивающие формирование базовых и специальных компетенций
профессиональной направленности и включающие лекционные курсы, практические
занятия на лабораторном и технологическом оборудовании, а также самостоятельную
работу слушателей.
      Образовательная программа состоит из 3-х модулей:

      Модуль 1 – Физико-химические основы получения и                исследования
наноструктурных материалов и высокоэффективных катализаторов.

      Основные разделы программы модуля:
      1. Гетерогенные каталитические процессы и дефектная структура твердофазных
         катализаторов.
      2. Методы получения и исследования свойств наноразмерных материалов.
      3. Каталитические свойства наноструктурированных сложнооксидных
         материалов.
      4. Промышленные катализаторы для нейтрализации газовых выбросов
         предприятий и транспорта.

     Модуль 2 Технологические           основы    получения     и   использования
высокоэффективных катализаторов.

      Основные разделы программы модуля:
      1. Научные основы производства катализаторов
      2. Получение и изучение свойств сорбентов
      3. Получение и свойства наноструктурированных сложнооксидных катализаторов
      4. Получение и свойства носителей катализаторов на основе высокопористых
         ячеистых материалов (ВПЯМ)
      5. Термокаталитические нейтрализаторы выбросов промышленных предприятий и
         автотранспорта
      6. Экологические аспекты производства катализаторов и охрана труда персонала.
                                        36
     Модуль 3 – Технико-экономические основы организации и управления
высокотехнологичным производством

      Основные разделы программы модуля:
         1. Основы     экономики     технологических   процессов   производства
            инновационной продукции
         2. Планирование и прогнозирование экономических результатов научно-
            технологических процессов
         3. Управление нанотехнологическими проектами
         4. Исследование рынка (маркетинг) инновационных продуктов
         5. Защита интеллектуальной собственности и управление нематериальными
            активами предприятий

       В реализацию программы планируется         вовлечь представителей различных
областей знаний и профессиональных сообществ и тем самым обеспечить экспертное
взаимодействие научной, образовательной и бизнес - среды при формировании
программы и оценке ее результатов. Данный проект предполагает разработку
межвузовской образовательной программы профессиональной переподготовки,
консолидирующей материальные и кадровые ресурсы не только различных факультетов
вуза-исполнителя, но и других образовательных учреждений, что позволит
оптимизировать затраты на использование уникального дорогостоящего оборудования,
повысить качество обучения.
       К обучению слушателей программы привлечен высококвалифицированный штат
преподавателей и специалистов в составе 16 чел. Среди них – 2 члена-корреспондента
РАН, 9 докторов наук, 5 кандидатов наук. В реализации программы помимо УГТУ-УПИ
будут участвовать преподаватели и научные работники соисполнителей – ГОУ ВПО
«Уральский государственный университет имени А.М.Горького»            и Учреждение
Российской академии наук, «Институт катализа им. Г.К.Борескова» Сибирского отделения
РАН. У соисполнителей так же, как и в УГТУ-УПИ, созданы и успешно развиваются
научные школы в области каталитических систем и наноматериалов. Большинство из
привлекаемых преподавателей имеют опыт обучения слушателей при профессиональной
переподготовке и повышении квалификации работников промышленных предприятий.
       Дистанционное обучение будет реализовано с участием коллектива факультета
повышения квалификации, имеющего большой опыт проведения лекций в оn-line режиме,
записи лекций на диски, организации обучения и контроля знаний слушателей через
специальный портал Интернет-сайта УГТУ-УПИ. Планируются также лекции на
предприятиях. Повышению качества обучения будут способствовать стажировки
преподавателей в МГУ им. М.В.Ломоносова, в Институт катализа им. Г.К.Борескова СО
РАН (г.Новосибирск), а также в зарубежные университеты (Германия, Израиль).

      Участие проектных компаний в разработке и реализации программы

      Предусмотрено и уже реализуется активное участие проектной компании в
подготовке программы и организации обучения работников. Руководство завода
автомобильных катализаторов дало согласие на использование в учебном процессе
действующего технологического оборудования, применяемого в производстве
нанокатализаторов.



                                        37
       Предусмотрена вариация образовательных траекторий сотрудников завода с
учетом рекомендаций работодателя, исходя из специфики их производственной
деятельности слушателей.
       Руководство завода принимает участие в работе Координационного совета
программы, в контроле текущей успеваемости слушателей, в формулировке технического
задания на выполнение выпускной квалификационной работы для каждого слушателя,
дает оценку итогов обучения.

       Управление программой

       Для организации работы над проектом создается Координационный совет
программы. Координационный совет возглавляется ее руководителем, включает в своем
составе представителей Заявителя, организаций-соисполнителей, проектных компаний ГК
«Роснанотех» и партнеров проекта. Основная функция совета – координация действий
всех участников проекта по выполнению мероприятий календарного плана и контроль
целевых показателей реализации программы обучения.
       Программу     возглавляет    Руководитель,   который    несет   персональную
ответственность за ее выполнение, конечные результаты, целевое и эффективное
использование выделяемых финансовых средств, а также определяет формы и методы
управления ее реализацией. Для оперативного управления программой Руководитель
назначает ответственного исполнителя программы.
       Представитель проектной компании ГК «Роснанотех» обеспечивает согласование
структуры и содержания образовательных модулей, контроль достижения целей
программы и контроль над проведением учебного процесса.
       Персональный состав Координационного совета в настоящее время уточняется.

       Используемое оборудование

 №     Наименование учебных           Описание аудиторного фонда,                 Сведения,
 п/п        аудиторий,              лабораторного и технологического          подтверждающие
          лабораторного и                    оборудования                   наличие у Заявителя
         технологического                                                     права владения,
           оборудования                                                        распоряжения,
                                                                                пользования
                                                                                 указанным
                                                                            аудиторным фондом,
                                                                              лабораторным и
                                                                              технологическим
                                                                               оборудованием
 1                  2                                3                                4
1.     3 учебных аудитории          В аудитории №1 (Т-812) размещен         Находятся на балансе
       факультета                   компьютерный класс на 11 учебных             УГТУ-УПИ
       переподготовки кадров        рабочих мест. Все компьютеры имеют
       общей площадью 128           выход    в    Интернет,    оснащены
       кв.м.: Т-812, Т-808, Т-806   средствами для создания электронных
       для            проведения    мультимедийных учебных пособий.
       лекционных занятий со               Аудитория     №2       (Т-808)
       слушателями программы        используется как мультимедийная
                                    лекционная (на 30-36 слушателей) и
                                    как компьютерный класс на 18
                                    рабочих       мест.     Компьютеры
                                    объединены в локальную сеть, имеют
                                                38
                             доступ к сетевым ресурсам УГТУ-
                             УПИ и выход в Интернет.
                                    Аудитория      №3      (Т-806)
                             используется как мультимедийная
                             лекционная на 20 слушателей. Для
                             демонстраций            используется
                             мобильный           презентационный
                             комплект.    Указанная     аудитория
                             оборудована средствами защиты от
                             утечки информации по техническим
                             каналам и аттестована для проведения
                             закрытых семинаров.
                                  Аудитория №4 (Т-305)
2   Учебный класс            Образовательный комплекс в составе      Оборудование         и
    сканирующей зондовой     10 приборов NANOEDUCATOR-10,            площади принадлежат
    микроскопии              предназначенный для освоения основ      УрГУ. Оборудование
    Nanoeducator-10, НТ-     работы в режиме сканирующей             входит в состав центра
    МДТ                      зондовой микроскопии, приобретения      коллективного
                             навыков исследования нанообъектов       пользования
                             и       наноструктур,        включая    «Современные
                             нанокатализаторы.                       нанотехнологии»
                                                                     (Приказ № 554 д/у от
                                                                     29.12.2007)
3   Учебный класс           Научно-образовательный комплекс из       Оборудование         и
    «Зондовая               5-ти приборов на базе зондовой           площади принадлежат
    нанолаборатория» на     лаборатории     NTEGRA       сочетает    УрГУ. Оборудование
    базе приборов серии     возможности сканирующей зондовой         входит в состав центра
    NTEGRA, НТ- МДТ         микроскопии, сканирующей лазерной        коллективного
                            конфокальной      микроскопии       и    пользования
                            спектроскопии      комбинационного       «Современные
                            рассеяния. Позволяет производить         нанотехнологии»
                            широкий     круг        исследований     (Приказ № 554 д/у от
                            оксидных     нанокатализаторов      с    29.12.2007)
                            разрешением до 50 нм.
4   Технологическое         Промышленная линия катализаторов         Находится на балансе
    оборудование        для водородного                электрода,    Уральского
    производства            промышленная линия производства          электрохимического
    нанесенных              кислородного электрода                   комбината
    наноструктурированных
    катализаторов
5   Технологическое         Прокатные станы, печи спекания,          Находится на балансе
    оборудование        для прессы. Методики технологического        Уральского
    производства            контроля                                 электрохимического
    наноразмерных                                                    комбината
    электродных подложек и
    электродов
6   Технологическое         Участок                 производства     Находится на балансе
    оборудование        для электролитоносителей:      смесители,    Уральского
    изготовления            магнитные сепараторы, автоклавы,         электрохимического
    электролитоносителей    прессы.                                  комбината
7   Технологическое         Электролизные ванны, механические        Находится на балансе
    оборудование        для сита, мельницы, печи восстановления.     Уральского
    производства                                                     электрохимического
    электролитических                                                комбината

                                         39
     нанопорошков никеля и
     кобальта
8    Лабораторное               Оборудование для получения              Находится на балансе
     оборудование для           опытных образцов катализаторов,         Уральского
     диагностики и              электродов и электролитоносителей,      электрохимического
     аттестации                 определения их свойств: удельная        комбината
     катализаторов,             поверхность, удельная
     электродов и               электропроводность, насыпная
     электролитоносителей.      плотность, распределение частиц по
     Стенды для тестовых        размерам, ртутная порометрия,
     испытаний и                каталитическая активность, запорные
     диагностики                свойства, щелечепроницаемость.
     порошковых и               Стенды испытаний опытных образцов
     нанесенных                 разрабатываемых наноматериалов в
     катализаторов, имитации    натурных условиях в составе макетов
     процессов                  батарей топливных элементов,
     искусственного             сотовых и ячеистых катализаторов.
     «старения»
     катализаторов.
9    Просвечивающий             Предназначен     для     проведения
     сканирующий                научных исследований          тонкой
     электронный микроскоп      структуры    материалов,    включая
     JEM 2100 (LaB6)            катализаторы    в     наноразмерном
     с системой                 диапазоне:     фазового      состава,
     энергодисперсионного       химического состава отдельных фаз и      Находится на балансе
     микроанализа Oxford        их кристаллографической ориентации           УГТУ-УПИ
     Inca EnergyTEM 250 и       друг относительно друга; изучения
     цифровой камерой           морфологических особенностей и
     Olympus Cantega G2         химического    состава    выделений
                                вторых фаз наноразмерного уровня в
                                оксидных катализаторах.
10   Растровый электронный      Предназначен     для     проведения
     микроскоп JSM 6490 LV      научных исследований        изломов,
     с системой                 реплик, полированных и травленых
     комбинированного           поверхностей         наноматериалов
     энергодисперсионного и     различного состава и назначения, в       Находится на балансе
     волнового микроанализа     том         числе          оксидных          УГТУ-УПИ
     Oxford Inca Energy 350 и   нанокатализаторов.
     дифракции обратно
     рассеянных электронов
     (EBSD) Nordlys HKL
11   ИК-Фурье спектрометр    Предназначен      для       научных
     Nicolet 380             исследований молекулярных спектров
                             с     размерами     молекул      до
                                                                         Находится на балансе
                             наноразмерного уровня органических
                                                                             УГТУ-УПИ
                             и    неорганических     соединений,
                             использующихся     для    получения
                             сложнооксидных катализаторов.
12   ИК-КР       спектрометр Предназначен      для       научных
     Vertex-70 фирмы Bruker, исследований         колебательных
     Германия                спектров      (инфракрасных       и         Находится на балансе
                             комбинационного          рассеяния)             УГТУ-УПИ
                             различных типов наноструктурных
                             материалов в широком диапазоне

                                            40
                                температур (от -195 до +700 оС)
13   Анализатор фрагментов      Предназначен      для     проведения
     микро и наноструктуры      автоматизированной        подготовки
     твердых      тел    с      образцов     конструкционных        и
     комплектом                 функциональных            материалов,    Находится на балансе
     оборудования      для      включая       материалы        матриц        УГТУ-УПИ
     пробоподготовки.           катализаторов с автоматизированным
                                анализом     размеров      различных
                                элементов микро- и наноструктуры.
14   Люминесцентный             Предназначен        для      научных
     спектрометр LS-55 Perkin   исследований                 спектров
     Elmer                      фосфоресценции          микро       и
                                наноструктурных             объектов.    Находится на балансе
                                Спектральный диапазон (210-900) нм;          УГТУ-УПИ
                                разрешение 0,1 нм; температурный
                                диапазон (77-700К); используется при
                                диагностике нанокатализаторов.
15   Многоцелевой               Предназначен        для      научных
     порошковый                 исследований                 методом
     рентгеновский              рентгеноструктурного качественного
                                                                         Находится на балансе
     дифрактометр Bruker D8     и количественного анализа микро- и
                                                                             УГТУ-УПИ
     Advance с температурной    наноструктурированных материалов в
     камерой AntonPaar          широком диапазоне углов отражения.
     HTK1200N
16   Вакуумная               Позволяет изучать технологические
     высокотемпературная     процессы                   получения
     печь ИИВП-0,02          наномодификаций            различных
                                                                         Находится на балансе
                             материалов,    в    том    числе   с
                                                                             УГТУ-УПИ
                             проведением          пирохимических
                             процессов        по       получению
                             нанопорошков.
17   Оптический микроскоп Позволяет визуализировать структуру           Оборудование         и
     Olympus      BX-51    с различных материалов., в том числе         площади принадлежат
     цифровой видеокамерой матриц оксидных катализаторов.               УрГУ. Оборудование
     GlobalMicro-i1300,      Обеспечивает проведение                    входит в состав центра
     системой                высокоскоростной видеосъемки               коллективного
     высокоскоростной        исследуемых объектов.                      пользования
     видеосъемки                                                        «Современные
     FastCamera13,                                                      нанотехнологии»
     термокриокамерой                                                   (Приказ № 554 д/у от
     Linkam THMSE 600,                                                  29.12.2007)
     Linkam и программно-
     аппаратным комплексом
     для    регистрации    и
     обработки изображений
18   Оптический              Визуализация поверхности                   Оборудование         и
     профилометр Wyko NT     нанесенных катализаторов, измерение        площади принадлежат
     1100, Veeco Instr Inc   трехмерного рельефа, толщины               УрГУ. Оборудование
                             покрытий и шероховатости                   входит в состав центра
                             поверхностей. Предельное                   коллективного
                             увеличение: 100х, вертикальное             пользования
                             разрешение: до 1 Å, пределы                «Современные
                             вертикальных измерений: 1 нм – 1 мм,       нанотехнологии»
                             пределы горизонтальных измерений:          (Приказ № 554 д/у от

                                            41
                                50 нм – 8 мм                             29.12.2007)
19   Вакуумная установка для    Предназначена для напыления тонких       Оборудование           и
     электронно-лучевого        пленок металлов, полупроводников и       площади принадлежат
     испарения и                диэлектриков электронно-лучевым          УрГУ. Оборудование
     магнетронного              испарением и магнетронным                входит в состав центра
     напыления                  распылением на кристаллические и         коллективного
     Auto 500 Edwards, BOC      керамические подложки диаметром          пользования
     Edwards                    до 100 мм; используется для              «Современные
                                изготовления образцов с нанесенными      нанотехнологии»
                                катализаторами.                          (Приказ № 554 д/у от
                                                                         29.12.2007)
20   Универсальный              Научные приборы, предназначеные          Оборудование и
     анализатор суспензий       для измерения размеров частиц от 3       площади принадлежат
     Brookhaven ZetaPlus/BI     нанометров      до       6     микрон,   УрГУ. Оборудование
     90.                        диспергированных или растворенных        входит в состав центра
     Лазерный анализатор        в    жидкой     среде.     Измеряемой    коллективного
     распределения частиц по    величиной    в     методе     является   пользования
     радиусам SALD-7101         автокорреляционная            функция    «Современные
     (Shimadzu).                рассеяния     света,      позволяющая    нанотехнологии»
                                регистрировать смещения частиц в         (Приказ № 554 д/у от
                                микросекундном       интервале,    что   29.12.2007)
                                позволяет рассчитывать коэффициент
                                диффузии частиц, дзета-потенциал,
                                средний размер частиц, а также их
                                распределение по размерам.
21   Измеритель удельной        Комплекс                     приборов,    Оборудование и
     поверхности Сорби-4        предназначенный        для     точного   площади принадлежат
     (ЗАО «МЕТА»).              определения удельной поверхности,        УрГУ. Оборудование
     Измеритель удельной        пористости образцов, распределения       входит в состав центра
     поверхности TriStar II     пор по размерам. Используется при        коллективного
     3020                       разработке и исследовании свойств        пользования
     (низкотемпературная        нанокаталитических систем.               «Современные
     сорбция азота с тепловой                                            нанотехнологии»
     десорбцией)                                                         (Приказ № 554 д/у от
                                                                         29.12.2007)
22   Исследовательский          Предназначен     для      проведения      Оборудование и
     комплекс: синхронный       комплексного термического анализа        площади принадлежат
     термоанализатор STA        различных    материалов,     включая     УрГУ. Оборудование
     409 PC (Netzsch),          прекурсоры         для        синтеза    входит в состав центра
     газовый хроматограф-       сложнооксидных         катализаторов,    коллективного
     квадрупольный масс-        собственно            каталитические     пользования
     спектрометр Perkin Elmer   материалы.,             гетерогенные     «Современные
     GS/MS 600D.                реакционные     среды.     Позволяет     нанотехнологии»
                                получить в различных газовых средах      (Приказ № 554 д/у от
                                термогравиметрические         кривые,    29.12.2007)
                                кривые           дифференциального
                                термического анализа, одновременно
                                анализировать состав продуктов,
                                выделяющихся в газовую среду, в
                                частности, определять кислородную
                                нестехиометрию.
23   Электронный                Используется        в        научных Оборудование и
     газоанализатор Testo-350   исследованиях     при     измерениях площади принадлежат
     XL .                       концентрации      компонентов       в Уральскому

                                             42
                                различных газовых средах (СО, NO,      государственному
                                NO2, SO2, O2 и пр.), позволяет         университету.
                                определять скорость газового потока,
                                влажность среды, избыток воздуха
                                при сжигании топлива, удельные
                                выбросы. Применяется при оценке
                                эффективности        каталитических
                                систем для нейтрализации газовых
                                выбросов.
24   Атомно-эмиссионный         Комплекс универсальных приборов,       Оборудование и
     спектрометр            с   предназначенный для проведения         площади принадлежат
     индуктивно-связанной       химического анализа проб. Обладает     УрГУ. Оборудование
     плазмой iCAP 6500 DUO      высокой     чувствительностью     к    входит в состав центра
     – Thermo Scientific.       определяемым элементам, позволяет      коллективного
     Атомно-абсорбционный       измерять содержание компонентов с      пользования
     спектрометр     SOLAAR     высокой точностью. Используется        «Современные
     M6 Thermo Scientific (26   при разработке сложнооксидных          нанотехнологии»
     ламп для определения 38    катализаторов.                         (Приказ № 554 д/у от
     элементов).                                                       29.12.2007)
25   Дилатометр DIL 402C      Используется       в       научных       Оборудование и
     (Netzsch).               исследованиях для прецизионного          площади принадлежат
                              измерения размеров образцов, в том       УрГУ. Оборудование
                              числе твердофазных катализаторов в       входит в состав центра
                              ходе изучения процессов спекания,        коллективного
                              фазовых    переходов,    измерения       пользования
                              коэффициентов         термического       «Современные
                              расширения матриц катализаторов.         нанотехнологии»
                                                                       (Приказ № 554 д/у от
                                                                       29.12.2007)
26   ЭПР спектрометр EMX        Спектрометр       для      научных     Оборудование и
     Plus фирмы Bruker с        исследований высокого разрешения и     площади принадлежат
     возможностью               чувствительности.         Позволяет    УрГУ. Оборудование
     измерения спектров         диагностировать валентное состояние    входит в состав центра
     двойного электронно-       элементов     в    сложнооксидных      коллективного
     ядерного резонанса         системах (катализаторах) и других      пользования
                                материалах.                            «Современные
                                                                       нанотехнологии»
                                                                       (Приказ № 554 д/у от
                                                                       29.12.2007)
27   Рентгеновский              Позволяет    проводить    надежный     Оборудование и
     анализатор элементного     экспресс-анализ элементного состава    площади принадлежат
     состава СПАРК-1-2М.        различных     образцов,    включая     Уральскому
                                оксидные нанокатализаторы.             государственному
                                                                       университету
28   Планетарная мельница       Предназначена     для     получения    Оборудование и
     Pulverizette 7 (Fritch).   ультрадисперсных          порошков,    площади принадлежат
                                использующихся      для    создания    УрГУ. Оборудование
                                каталитических материалов.             входит в состав центра
                                                                       коллективного
                                                                       пользования
                                                                       «Современные
                                                                       нанотехнологии»
                                                                       (Приказ № 554 д/у от
                                                                       29.12.2007)

                                            43
29   Масс-спектрометр             Предназначен для анализа газового Находится на балансе
     фирмы            "Varian",   состава    различных  соединений, УГТУ-УПИ
     гибридный                    включая порошки и пленочные
     квадрупольно-                катализаторы.
     времяпролетный
     хромато-масс-
     спектрометр              с
     ионизацией
     электроспреем (ESI-Q-
     TOF),       изготовитель
     “Bruker”
30   Хроматографическое           Комплекс      высокочувствительных Находится на балансе
     оборудование:                приборов,    предназначенный    для УГТУ-УПИ
     жидкостной хроматограф       анализа молекулярного и элементного
     фирмы             "Мерк",    состава    материалов    различного
     газожидкостный               назначения,     включая     сложно-
     хроматограф        "Цвет",   оксидные катализаторы.
     жидкостной хроматограф
     «Agilent 1200 Series»,
     изготовитель      “Agilent
     Technologies Inc”, США




                                             44
3.5. Программа повышения квалификации кадров, предложенная
Государственным       образовательным      учреждением       высшего
профессионального     образования     «Пермский     государственный
технический университет» (ПГТУ) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
производства гироскопов на волоконных световодах, сохраняющих
поляризацию, и создания информационно-измерительных устройств на
основе наноструктурированных световодов


     По заказу: ОАО «Пермская научно-производственная приборостроительная
компания» (ОАО ПНППК), ID 1033



      Основные характеристики программы

       Реализация программы начнется весной 2010 года и завершится осенью.
       Планируемое количество слушателей (и выпускников) – 25 человек. В состав
группы, составленной из сотрудников ОАО ПНППК входят инженеры-исследователи,
инженеры-технологи, инженеры-конструкторы и инженеры-операторы, поэтому
программа предусматривает обучение по четырем образовательным траекториям. Каждый
сотрудник компании, следуя разработанной для него образовательной программе, должен
будет пройти переподготовку, освоив курс обучения объемом 160 аудиторных часов, где
110 часов составляет общий для всех базовый блок, и 50 часов – модуль специализации.
       Предусматриватеся очная форма обучения с частичным отрывом от производства,
срок реализации программы – 4 месяца, режим занятий: 4 часа 3 раза в неделю.

      Краткое описание содержания программы

      Основная идея разрабатываемой программы состоит в компетентностном подходе
при реализации индивидуальных образовательных траекторий обучения слушателей.
Учебный план включает в себя два модуля: базовый (общий) и 4 специальных (таблицы 1
и 2).


                                       Таблица 1. Базовые и специальные дисциплины
                                                               КОЛИЧЕСТВО
№                НАИМЕНОВАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ                       АУДИТОРНЫХ
                                                                  ЧАСОВ
                   Теоретические основы волоконной и
Б1                                                                    35
                          интегральной оптики
     БАЗОВЫй
      модуль




                  Конструкции и технологии волоконно-
Б2                                                                    35
                     оптических элементов и систем
Б3                  Волоконно-оптические гироскопы                    40


                                        45
С1                               Волоконно-оптические измерения                        20
                              Технологии производства специальных

         СПЕЦИАЛИЗАЦИ
С2                                                                                     25
                                     волоконных световодов
                            Проектирование специальных волоконных
С3                                                                                     25
                                           световодов
                            Инерциальные навигационные системы на
С4                                                                                     25
                                волоконно-оптических гироскопах
                          Волоконно-оптические датчики и системы на их
С5                                                                                     25
                                             основе
С6                                     Волоконные лазеры                               25

                                                             Таблица 2. Структура специализаций
     №                    Название специализации               Элементы модулей
     1                  Конструкции     специальных              Б1, Б2, Б3, С1, С3
                        волоконных световодов
     2                  Технологии      производства              Б1, Б2, Б3, С1, С2
                        специальных      волоконных
                        световодов
     3                  Конструкции       волоконно-              Б1, Б2, Б3, С4, С5
                        оптических приборов
     4                  Технологии      производства              Б1, Б2, Б3, С5, С6
                        волоконно-оптических
                        приборов

      Вести программу будут ведущие преподаватели Пермского ГТУ, а также ученые
НЦВО ИОФ РАН и зарубежные специалисты, в частности Майкл Перлмуттер, президент
компании Skilight Navigation Technology (США), ведущий специалист по волоконно-
оптическим гироскопам.

           Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы


      ОАО ПНПК принимала активное участие в разработке образовательных программ,
в содержательной части читаемой курсов, а также в выборе тематики выпускных
квалификционных работ. Все указанные выше вопросы заслушивались на научно-
технических советах ОАО ПНППК.

           Управление программой

      Приказом ректора ПГТУ создан научно-методический Совет с участием
представителей ГК “Роснанотех” и ОАО ПНППК в следующем составе:
      1. Ташкинов А.А., первый проректор ПГТУ – председатель совета
      2. Первадчук В.П., директор ИФОП ПГТУ – зам. председателя совета
      3. Нисимов С.У., руководитель группы ГК “Роснанотех” - член совета (по
          согласованию)
      4. Шумкова Д.Б., доцент ПГТУ – секретарь совета
      5. Крюков И.И., начальник ПКО ПНППК – член совета (по согласованию)
      6. Труфанов Н.А., зав. каф. ПГТУ – член совета
                                        46
      7.   Цаплин А.И., декан ПГТУ – член совета
      8.   Струк В.К., зам. директора по науке ПНППК - член совета (по согласованию)

      Перечень используемого оборудования

№         Наименование учебных аудиторий,                 Описание аудиторного фонда,
п/п        лабораторного и технологического             лабораторного и технологического
                    оборудования                                 оборудования
1                          2                                            3
1.    Специализированный учебная аудитория для
                                                     Площадь 70 м2 количество посадочных
      студентов направления       “Фотоника и
                                                     мест – 30 (ПГТУ)
      оптоинформатика”
2.    Специализированный компьютерный класс
                                                     Площадь 90 м2 Количество рабочих мест –
      для студентов направления “Фотоника и
                                                     15 (ПГТУ)
      оптоинформатика”
4.    Оптический рефлектометр                        Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ПГТУ)

5.    Спектроанализатор                              Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ПГТУ)

6.    Измеритель          поляризационно-модовой Контрольно-измерительное       оборудование
      дисперсии                                  (на балансе ПГТУ)

7.    Экстинометр                                    Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ПГТУ)

8.    Бриллюэнновский рефлектометр                   Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ПГТУ)

9.    Установка сварки волоконных световодов         Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ПГТУ)

10.   Измеритель геометрии световодов                Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ПГТУ)

11.   Испытательный     стенд   для     волоконно-
      оптических гироскопов                          Контрольно-измерительное   оборудование
                                                     (на балансе ОАО ПНППК)


12.   Установка MCVD                            Технологическое     оборудование (на балансе
                                                ОАО ПНППК)
10.   Колонна вытяжки                           Технологическое     оборудование (на балансе
                                                ОАО ПНППК)
13.   Установка электронно-лучевого напыления   Технологическое     оборудование (на балансе
                                                ОАО ПНППК)
14.   Установка    стыковки    интегральных   и Технологическое     оборудование (на балансе
      волоконных световодов                     ОАО ПНППК)
15.   Намоточный станок                         Технологическое     оборудование (на балансе
                                                ОАО ПНППК)
16.   Башня вытяжки                             Технологическое     оборудование (на балансе
                                                ОАО ПНППК)

                                            47
3.6. Программа профессиональной подготовки кадров (уровень –
магистратура),    предложенная    Государственным   образовательным
учреждением высшего профессионального образования «Пермский
государственный технический университет» (ПГТУ) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в
области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их
узлов с наноструктурными покрытиями


      По заказу: ЗАО «Новомет», г. Пермь, ID 1092



      Основные характеристики программы

      Начало обучения по программе магистратуры – 1 сентября 2010 г., окончание – 30
июня 2012 г. Формат обучения: дневная форма обучения – магистратура.
      Для поступления на данную магистерскую программу будут допускаться лица,
имеющие диплом бакалавра по направлениям: 150100 «Металлургия», 210600
«Нанотехнология»,     150900    «Технология,     оборудование    и     автоматизация
машиностроительных производств».
      Планируемое количество выпускников – 15 магистров, планируемое
трудоустройство в проектной компании – не менее 12 человек.
      Каждый магистрант в результате подготовки будет обязан пре дставить
итоговую работу (магистерскую диссертацию) с научно -исследовательскими и
технологическим компонентами, применимыми в реальном производственном процессе
компании-Работодателя. Основные результаты итоговой работы должны быть
опубликованы в одной или нескольких публикациях в центральных рецензируемых
журналах.

      Краткое описание содержания программы

       Первая особенность предлагаемой программы заключается в реализации
модульно-компетентностного принципа ее формирования: для максимально полного
формирования совокупности компетенций, необходимых для дальнейшей работы,
магистрант будет иметь право осваивать не всю дисциплину, а только те ее части
(модули), которые ему действительно необходимы. Вторая особенность программы – это
активное участие представителей Работодателя в работе всех органов управления, а также
– реальное включение Работодателя в реализацию всех этапов программы.
       Третья особенность обучения по предлагаемой программе состоит в наличии
института персональных научных руководителей (тъюторов). Каждый магистрант в
начале обучения должен будет выбрать себе руководителя. Выбор того или иного
тьютора зависит от специализации студента, поскольку она определяет построение его
учебной программы.
       Четвертой отличительной особенностью данной программы обучения будет
являться то, что не менее 50% времени магистры будут работать и/или проводить
исследования на реальном учебно-исследовательском, научно-исследовательском и
технологическом оборудовании.

                                         48
      Программа разработана специально для ЗАО «Новомет». Основой для нее
являются реализуемые в ПГТУ магистерские программы, реализуемые по направлениям
«Металлургия», «Нанотехнология», «Технология, оборудование и автоматизация
машиностроительных производств». При этом новая программа существенно
переработана с целью подготовки кадров конкретно для компании «Новомет»:
      – разрабатываются новые учебные курсы: «Нанокристаллические материалы»,
         «Теоретические основы и технологические особенности наноструктурирования
         конструкционных материалов», «Компьютерное моделирование сложных
         систем в области наноматериаловедения», «Методы и приборы для изучения,
         анализа и диагностики наночастиц и наноматериалов», «Оборудование и
         технология наноматериалов», «Процессы получения наночастиц и
         наноматериалов»;
      – ранее разработанные учебные курсы, вошедшие в новую учебную программу,
         такие, как: «Физика прочности и механика разрушения материалов и
         наноматериалов»,    «Современные     методы    исследования    структуры
         металлических сплавов и порошковывх материалов»; «Экологические
         проблемы производства наноматериалов», существенно модернизированы для
         обеспечения формирования у магистров компетенций, требуемых в области
         твердотельной светотехники;
      – увеличено число лабораторных практикумов, которые будут выполняться на
         современном     научно-исследовательском,    научно-технологическом    и
         диагностическом оборудовании учебно-исследовательского комплекса;
      – темы научно-исследовательской работы студентов и магистерских диссертаций
         будут сформулированы с учетом научно-технологических задач, решаемых
         проектной компанией ЗАО «Новомет».

      Для создания программы и преподавания будут привлечены лучшие специалисты
ПГТУ: академик РАН В.Н. Анциферов, д.т.н., профессор А.М. Ханов, д.т.н., профессор
А.А. Ташкинов, д.т.н. Ю.Н. Симонов, д.т.н., Л.Д. Сиротенко, д.т.н., С.Е. Порозова и
другие); вузов-партнеров: НИТУ-МИСиС (Москва), ЛЭТИ (Санкт-Петербург), Нефтяной
университет им. Губкина (Москва), академических институтов (Институт механики
сплошных сред, Пермь; Институт физики металлов УрО РАН, Екатеринбург), а также –
зарубежные специалисты (Университет им. Отто Герике, г. Магдебург; Технический
университет «Горная академия», г. Фрайберг). Для проведения практик и руководства
проектами и магистерскими диссертациями будут привлекаться сотрудники
производственных компаний, в первую очередь – сотрудники научного Центра ЗАО
«Новомет»: д.т.н. Ю.А. Данченко, д.т.н. С.Н. Пещеренко и др.

      Участие проектных компаний в разаработке и реализации программы

      Сотрудники ЗАО «Новомет» будут привлекаться для проведения экспертизы
содержания образовательной программы, для руководства практикой, проектами
обучающихся и магистерскими диссертациями (в качестве тъюторов), для рецензирования
магистерских работ, а также - в качестве членов государственных аттестационных
комиссий по защите магистерских диссертаций. Планируется их участие в мониторинге
реализации программы.




                                        49
      Управление программой

       Для управления процессом реализации Программы, и аудита финансово-
экономического обеспечения Программы, в данный момент создается Совет Программы,
включающий: Наблюдательный Совет Программы, Учебно-методический совет
Программы и Дирекцию Программы.
       Для координирования реализации профессиональной части Программы и
прохождения магистрантами производственных практик, а также – для осуществления
аудита финансово-экономического обеспечения Программы создается Наблюдательный
совет Программы (НСП) в составе:
       1. Петров В.Ю., ректор ГОУ ВПО ПГТУ – Председатель НСП;
       2. Анциферов В.Н., академик РАН, зав. кафедрой ПМ, директор НЦПМ ПГТУ;
       3. Нисимов С.У., руководитель группы по работе с образовательными
           учреждениями Департамента образовательных программ ГК «Роснанотех» -
           куратор Программы от ГК «Роснанотех;
       4. Ханов А.М., декан МТФ ПГТУ;
       5. Перельман О.М., генеральный директор ЗАО «Новомет»;
       6. Один из руководителей ОАО «Мотовилихинские заводы», г. Пермь;
       7. Один из руководителей ОАО «Пермские моторы»;
       8. Представитель     Координационного      Совета    программы    развития
           «Национальный исследовательский университет».

       Для разработки учебно-методического комплекса (УМК), необходимого для
открытия Программы, а также - выработки требований к организации учебного процесса
создается Учебно-методический совет (УМС) Программы. Для осуществления текущего
руководства подготовкой и реализацией Программы создается Дирекция Программы
(ДП).

      Используемое оборудование


№       Наименование учебных аудиторий                  Описание аудиторного фонда,
п/п     лабораторного и технологического             лабораторного и технологического
                  оборудования                                  оборудования
  1   Аудиторный фонд                             Лекционный зал на 50 человек с
                                                  мультимедийными средствами;
                                                  3 компьютерных класса на 30 компьютеров
                                                  каждый, в каждом - выход в Интернет,
                                                  библиотека, мультимедийные средства
  2   Многопроцессорный вычислительный            Решение фундаментальных и прикладных
      комплекс для высокопроизводительных         задач с использованием современных
      параллельных вычислений (AMD/США)           программных комплексов
  3   Система универсальная                       - Определение комплекса деформационных
      электромеханическая Instron 5882 (100kN),   и прочностных характеристик материалов
      оснащенная температурной камерой для        при квазистатических, динамических и
      испытаний при температуре от -100 ºС до     циклических нагружениях
      +350 ºС (Великобритания)                    - Определение характеристик циклической
                                                  трещиностойкости и усталостной
                                                  долговечности
  4   Универсальная настольная                    Объекты изучения: стали и сплавы,
      электродинамическая испытательная           композиционные и порошковые материалы,
      машина Instron E3000 (3kN)                  керамические материалы, нанокомпозиты
                                            50
     (Великобритания)
5    Цифровая система для видео анализа и
     измерения деформаций Vic3D (Германия)
6    Сканирующий электронный микроскоп         Комплекс для изучения состояния
     высокого разрешения с                     поверхности и элементного состава
     рентгенофлуоресцентной приставкой «S-     кристаллических и аморфных веществ.
     3400N» японской фирмы «HITACHI»           Используется для анализа поверхности
                                               продуктов, образцов антикоррозионных
                                               материалов, защитных покрытий, лаков,
                                               пленок, сплавов, композиций, руд,
                                               полупродуктов и отходов предприятий
7    Рентгеновский дифрактометр XRD-7000       Установка для качественного т
     японской фирмы «Шимадзу»                  количественного анализа фазового состава
                                               руд, кристаллических продуктов,
                                               расшифровки минералогического состава
                                               нерастворимого остатка руд, солевых
                                               отходов, всех кристаллических
                                               полупродуктов и продуктов, покрытий и
                                               т.д.
                                               Использование данного прибора позволяет
                                               определить вид минералов,
                                               кристаллическое строение, размер
                                               кристаллитов, степень кристалличности
                                               веществ и материалов
8    Автоэмиссионный растровый микроскоп       Исследование топологии поверхностей,
                                               композиционного контраста поверхностей,
                                               разориентации кристаллов, магнитных
                                               доменов, прецизионное измерение частиц и
                                               включений. Получение изображений во
                                               вторичных и обратно рассеянных
                                               электронах
9    Многофункциональный дисперсионный         Исследование индивидуальных химических
     спектрометр комбинационного рассеяния     связей в молекулах, внутри- и
     света                                     межмолекулярных взаимодействий,
                                               различных видов изомерии, обнаружение
                                               микропримесей
10   Термомеханический                         Измерение вариаций размеров образцов как
     анализатор/дилатометр                     функции температуры
11   Установки плазмохимического газофазного   Плазмо-химическое газофазное нанесение
     роста алмазных пленок и плазменного       алмазных и алмазоподобных покрытий
     напыления
12   Анализатор размера частиц для измерения   Для определения распределения частиц в
     в сухой и жидкой средах                   суспензиях, эмульсиях, порошках и
                                               аэрозолях по размерам посредством
                                               лазерной дифракции при длине волны 650
                                               нм
12   Станок токарно-фрезерный MULTUS           Подготовка образцов для механических
     B300W                                     испытаний
13   Станок электроэрозионный проволочно-      Подготовка проб для
     вырезной Ecocut                           электронномикроскопических и других
                                               тонких исследований
14   Заточной центр SZ                         Подготовка инструмента, подготовка проб
                                               для металлографических исследований
15   Плоскодоводочные станки для финишной      Финишная механическая доводка

                                        51
     абразивной обработки высокоточных        прецизионных поверхностей деталей до
     деталей                                  шероховатостей в нанометровом диапазоне
16   Хонинговально-доводочные станки          Финишная абразивная обработка
                                              прецизионных поверхностей деталей
                                              постоянной кривизны
17   Просвечивающий электронный микроскоп     Учебно-исследовательский прибор для
     ЭМ-125М                                  прямого наблюдения дислокационной
                                              структуры металлов, сплавов и покрытий
18   Сканирующий электронный микроскоп        Учебно-исследовательский прибор для
     РЭМ-100УМ                                наблюдения структуры металлов, сплавов и
                                              покрытий




                                         52
3.7. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным        образовательным       учреждением      высшего
профессионального      образования     «Рыбинская     государственная
авиационная технологическая академия имени П.А.Соловьева» (РГАТА
имени П.А. Соловьева) для проектных компаний ГК «Роснанотех»,
реализующих инвестиционные проекты в области разработки и получения
наноструктурированных      покрытий      режущего    инструмента    и
технологической оснастки для газотурбинной техники.


      По заказу: ЗАО «Новые инструментальные решения», г.Рыбинск, ID 448



      Основные характеристики программы

      Программа начнется весной и завершится осенью 2010 года. Форма обучения –
дневная, с отрывом от работы.
      Группа слушателей из 25 человек формируется на конкурсной основе,
преимущественно, из работников ЗАО «Новые инструментальные решения» и аспирантов
и выпускников РГАТА имени П.А.Соловьева. В список кандидатов на обучение входят
инженеры-технологи, начальники участков, начальник производства, технический
директор, заместитель ген.директора по коммерческим вопросам, операторы
станков.Планируется, что все выпускники будут трудоустроены на предприятии.

      Краткое описание содержания программы

      Базой для разработки и реализации предлагаемой программы является
функционирующий в РГАТА имени П.А. Соловьева региональный научно-
образовательный центр авиационной отрасли. Учебный план составляется на основе
требований работодателя – ЗАО «Новые инструментальные решения».
      В основу программы положен модульный принцип, обеспечивающий
возможность создания специализаций с усилением подготовки по отдельным темам
программы.

      Модули программы
      М.1 Фундаментальные основы наноматериалов и нанотехнологий в области
разработки и получения наноструктурированных покрытий режущего инструмента и
технологической оснастки для газотурбинной техники
      М.1.1 Введение в нанотехнологию.
      М.1.2 Физико-химические основы наноматериалов.
      М.1.3 Основы нанометрической механообработки.
      М.1.4 Наноматериаловедение.
      М.2 Научные основы технологии проектирования и изготовления твердосплавного
режущего инструмента и технологической оснастки для газотурбинной техники
      М.2.1 Методы проектирования монолитного твердосплавного инструмента.
      М.2.2 Технология изготовления твердосплавного инструмента.
                                       53
     М.2.3 Технологии инструментальных материалов.
     М.2.4 Инструменты и методы обработки твердых сплавов.
     М.3 Научные основы разработки и получения наноструктурированных покрытий
режущего инструмента и технологической оснастки для газотурбинной техники
     М.3.1 Нанотехнологии при изготовлении режущего инструмента.
     М.3.2 Методы нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент.
     М.3.3 Влияние нанотехнологий на эксплуатационные свойства изделий.
     М.4 Метрологические основы обеспечения требуемых характеристик покрытий
режущего инструмента и технологической оснастки для газотурбинной техники
     М.4.1 Методы исследования наноструктур. Зондовые нанотехнологии.

      Кадровый состав профессорско-преподавательского корпуса РГАТА имени П.А.
Соловьева в области наносистем, наноматериалов и нанотехнологий, привлекаемый к
реализации проекта составляет 48 человек, в том числе 12 докторов технических наук,
профессоров и 7 кандидатов технических наук, доцентов.
      Для разработки программы и ее реализации привлекаются квалифицированные
специалисты, представители компании, а также ведущие российские ученые из
следующих орагниазций:
      – РНЦ «Курчатовский институт», г.Москва.
      – Фирма «Галика АГ» (GALIKA AG Company), г.Цюрих, Швейцария.
      – ОАО «Научно-производственное объединение «Сатурн», г.Рыбинск.
      – ЗАО «Новые инструментальные решения», г.Рыбинск.
      – Ярославский государственный университет имени П.Г. Демидова (Центр
         коллективного пользования оборудованием).

        Участие проектных компаний в разработке и реализации программы

        Участие ЗАО «НИР» в программе будет осуществляться с помощью следующих
форм:
        –   анализ потребностей компаний при разработке проекта образовательной
            программы, включая непосредственное участие ведущих специалистов
            компаний в формировании контента учебных модулей (уже сделано);
        –   участие в составе Координационного совета программы представителей
            проектных компаний ГК «Роснанотех»;
        –   привлечение ведущих специалистов предприятий для проведения занятий,
            семинаров, лабораторных и практических работ, руководства выпускной
            работой слушателей;
        –   использование    научного,   исследовательского    и    производственного
            оборудования кампаний для проведения практических занятий со слушателями;
        –   привлечение специалистов кампаний и руководства для проведения текущего и
            итогового измерения компетенций слушателей, участия в работе комиссий по
            защите выпускных работ.

        Управление программой

      Для организации и осуществления проекта создается постоянно действующий
координационный совет образовательной программы, в который входят представители
основного заказчика кадров ЗАО «Новые инструментальные решения», ГК «Российская
корпорация нанотехнологий», РГАТА имени П.А. Соловьева, также представители
ведущих научных и учебных центров, работающих в сфере нанотехнологий.
                                          54
      Задачами координационного совета являются: определение стратегии
формирования образовательной программы профессиональной переподготовки, ее
наполнение, организационно-методическое обеспечение, мониторинг реализации проекта.

        Состав координационного совета:
         1. Полетаев В.А.      Ректор   РГАТА      имени    П.А.Соловьева,        доктор
                               технических наук – председатель Совета

        2. Жигалов В.Н.         Генеральный директор ЗАО «Новые инструментальные
                                решения» - заместитель председателя Совета
        3. Нисимов С.У.         Руководитель группы по работе с образовательными
                                учреждениями Департамента образовательных программ
                                ГК «Российская корпорация нанотехнологий» - член
                                Совета
        4. Кожина Т.Д.          Проректор по НИР, доктор технических наук, профессор
                                - член Совета
        5. Шатульский А.А.      Проректор по УВР, доктор технических наук, профессор
                                - член Совета
        6. Безъязычный В.Ф.     Зав. кафедрой ТАДиОМ, доктор технических наук,
                                профессор - член Совета
        7. Волков Д.И.          Зав кафедрой РМСИ, доктор технических наук,
                                профессор - член Совета
        8. Васильев А.С.        Зав кафедрой «Технология машиностроения» МГТУ
                                им.Н.Э.Баумана, доктор технических наук, профессор -
                                член Совета
        9. Михайлов С.В.        Профессор кафедры «Технология машиностроения»
                                КГТУ (г.Кострома), доктор технических наук,
                                профессор - член Совета
        10. Камакин В.А.        Профессор кафедры ЭПЭ, доктор технических наук -
                                член Совета
        11. Иванов Л.М.         Директор по персоналу ОАО «НПО «Сатурн»

        Используемое оборудование


№ п/п    Наименование учебных         Описание аудиторного фонда, лабораторного и
                аудиторий,                  технологического оборудования
             лабораторного и
            технологического
              оборудования
 1.      Аудиторный фонд         Общая площадь – более 250 кв.м. Лекционные аудитории,
         (баланс вуза)           учебные и компьютерные классы соответствуют нормам
                                 СанПиН 2.2.1./2.1.1.1278-03, СанПиН 2.2.4.548-96, СанПиН
                                 2.2.2/2.4.1340-03, СанПиН 2.4.3.1186-03, ППБ 01-03, СниП
                                 21-01-97, СниП 23-05, НПБ 104-03. Все помещения
                                 оснащены необходимым мультимедийным оборудованием.
                                 Исследовательское и вычислительное оборудования
                                 оснащено программным обеспечением: Solidworks-6 для
                                 моделирования технологического оборудования;
                                 верификация управляющих программ –Vericad для
                                 моделирования управляющих программ для станков с ЧПУ;
                                          55
                               проектирование техпроцессов ТЕХКАРД; проектирование
                               техпроцессов Cadmech
2.   Лаборатории               Лаборатория «Автоматизации технологических процессов
     (баланс вуза)             механообработки деталей энергоэффективных двигателей»
                               имеет производственные площади размером 600 м2, причем
                               из них 200 м2 полностью оборудованы: имеются все
                               необходимые инженерные коммуникации, компрессорная
                               станция и технологическое оборудование с ЧПУ для
                               многокоординатной токарной и фрезерной обработки,
                               координатно-измерительную машину, участок стендов для
                               моделирования работы технологического оборудования и
                               разработки управляющих программ ф. «Сименс».
3.   Динамический                     Динамический наноиндентометр ДНТ 20/200
     наноиндентометр ДНТ-      используется для:
     20/200                          - определение микро- и нанотвердости, локального
     (баланс вуза)             модуля Юнга, предела текучести, анизотропии механических
                               свойств микрообъемов при упруго-пластическом контакте;
                                     - измерение энергии, поглощаемой при упруго-
                               пластическом контакте, коэффициента ее рассеяния при
                               циклическом нагружении;
                                     - исследование фазовых превращений,
                               индуцированных высоким давлением под индентором;
                                     - исследование структуры многофазных и
                               многослойных материалов;
                                     - определение толщины, степени адгезии,
                               механических свойств тонких пленок и покрытий;
                                     - оценка пористости материала;
                                     - оценка величины и характера распределения
                               внутренних напряжений в приповерхностном слое;
                                     - исследование ползучести при комнатной
                               температуре.

4.   Вторичный ионный масс-           Установка для исследование химического состава и
     спектрометр IMS-4F.       структуры методом вторичной ионной масс-спектрометрии
     (баланс вуза)
5.   Автоматизированный        Комплекс позволят одновременно измерять и
     комплекс для              контролировать упругие, неупругие, магнитные и некоторые
     определения физико-       теплофизические параметры различных материалов в
     механических свойств      вакууме, среде различных газов и условиях атмосферы в
     сплавов в широком         широком диапазоне температур от температуры кипения
     диапазоне температур      жидкого азота до температуры ликвидус исследуемого
     (баланс вуза)             материала.
6.   Растровый электронный     Сканирующий автоэмиссионный электронный микроскоп с
     микроскоп Ultra 55 (Leo   разрешением до 1 нм.
     Supra) в комплекте с
     рентгеновским
     спектрометром
     (баланс ЯрГУ имени П.Г.
     Демидова (Центр
     коллективного
     пользования
     оборудованием).
7.   Автоматизированный               Комплекс предназначен для определения
     комплекс для измерения    характеристик распределения остаточных напряжений в

                                        56
      остаточных напряжений     поверхностном слое деталей при помощи последовательного
      поверхностного слоя       электролитического стравливания материала и регистрации
      деталей                   возникающих деформаций.
      на базе прибора ПИОН-2
      (баланс вуза)
8.    Автоматизированный        Комплекс состоит из микротвердомера, контроллера и
      исследовательский         персонального компьютера. По кинематической диаграмме
      комплекс МТИ-3М.          вдавливания, возможны: а) оценка особенностей
      (баланс вуза)             микродеформации в условиях непрерывного вдавливания
                                индентора в широком диапазоне прикладываемых усилий и
                                глубин отпечатков; б) определение непосредственно из
                                диаграммы вдавливания микротвердости; в) оценка
                                реологических характеристик (микроползучесть, упругое
                                восстановление) поверхностных слоев; г) изучение процесса
                                разрушения и его связи с контактным взаимодействием при
                                непрерывном вдавливании индентора; д) оценка толщины
                                покрытия и его механических свойств, степени влияния
                                подложки на микротвердость покрытия; е) определение
                                упругих свойств поверхностных слоев материала и
                                способность их к релаксации энергии, накопленной в
                                процессе упругопластической деформации.
9.    Установка для                    Предназначена для измерения
      неразрушающего            термоэлектродвижущей силы, возникающей в ходе
      контроля материалов       испытаний образцов на машинах трения, приборах
      ПНК-1 (баланс вуза)       термоэлектрического неразрушающего контроля; при
                                исследовании процессов механической обработки деталей на
                                металлорежущих станках.
10.   Времяпролетный масс-             Установка для исследование химического состава и
      спектрометр IONTOF        структуры методом времяпролетной вторичной ионной масс-
      SIMS5 (баланс вуза)       спектрометрии
11.   Спектрометр Оже PHI-             Микро зонд для исследования и построения оже-
      660 (баланс вуза)         электронного изображения поверхности с субмикронным
                                разрешением.
12.   Микроскоп электронный            Сканирующих электронный микроскоп с
      LEO 430 SEM (баланс       разрешением до 20 нм
      вуза)
13.   Головка измерительная           Атомно-силовой и сканирующий туннельный
      LF1 к микроскопу UHV      микроскоп с высоковакуумной системой
      AFM/STM (баланс вуза)
14.   Спектрометр ИК Фурье             Фурье-спектрометр для исследования спектров
      IFS-113v                  пропускания и отражения в спектральном диапазоне 4000 –
      (баланс предприятия)      50 обратных сантиметров.

15.   Калориметр                       Прибор для измерения величины теплового эффекта
      дифференциальный          при фазовых переходах.
      сканирующий DSC
      204/1/G Phoenix (баланс
      предприятия).
16.   Комплекс спектрально-     Прибор для диагностики плазмы в плазмохимических
      зондовый измерительный    процессах микротехнологии.
      автоматизированный
      (баланс предприятия).
17.   Установка электронно-     Прецизионный сканирующий микроскоп для измерения и
      лучевого контроля на      аттестации эталонных металлизированных фотошаблонов

                                         57
      фотошаблонах и            для микроэлектроники.
      полупроводниковых
      пластинах ZRM-20
      (баланс предприятия).
18.   Установка ионной          Установка для имплантации легирующих примесей с
      имплантации К2МV с        системой химического анализа методом обратного
      системой RBS анализа      резерфордовского рассеяния.
      (баланс предприятия).
19.   Электронно-               Установка для электронно-лучевой литографии «Direct
      литографический           writing» с разрешением 2 нм при ускоряющем напряжении 20
      комплекс RAITH 150D       кВ.
      (баланс предприятия).
20.   Трехмерный оптический     Бесконтактный оптический профилометр для построенияя
      бесконтактный             трехмерного изображения поверхности.
      анализатор структуры
      поверхности ZYGO New
      View с системой
      высокоточного
      позиционирования
      образцов (баланс
      предприятия).
21.   Анализатор
      нанотекстуры              Установка для контроля поверхности пластин 200/300 мм.
      поверхности (баланс
      предприятия).
22.   Установка                 Установка плазмохимического осаждения дл формирования
      плазмохимического         нитридных, оксидных и аморфных слоев на кремнии.
      осаждения MINI
      GOUPYL (баланс
      предприятия).
23.   Установка электронно-     Установка для формирования субмикронных структур
      лучевого экспонирования   (масок) методом электронно–лучевого экспонирования.
      ZВА-20 (баланс
      предприятия).




                                         58
3.8. Программы профессиональной подготовки (уровень – магистратура) и
программы переподготовки кадров, предложенные Государственным
образовательным учреждением высшего профессио-нального образования
"Московский государственный институт электронной техники
(технический университет)" (МИЭТ) для проектных компаний ГК
«Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в области
проектирования и производства УБИС с топологическими нормами 90 нм.


      По      ОАО «НИИМЭ
           заказу:                           и   Микрон»     (в   составе     ОАО
«СИТРОНИКС»), ID 775


      Основные характеристики программы

      Продолжительность программы на стадии реализации: дата начала 15.03.2010 г.;
дата завершения программы 29.06.2012 г. Итоговый документ: Диплом о высшем
образовании с присуждением степени магистра техники и технологии по направлению
«Электроника и микроэлектроника». Итоговый документ по программам переподготовки:
Диплом о дополнительном (к высшему) образовании.
      По программам профессиональной подготовки (уровень – магистратура) – дневная
форма обучения; по программам переподготовки возможны 2 варианта – дневная форма
обучения и проведение интенсивных сессий с интервалами 1 раз в 2 месяца.
      По программам профессиональной подготовки (уровень – магистратура) – набор
производится с рынка с последующим трудоустройством в компании; по программам
переподготовки слушателями являются работники компании.
      Планируемое количество выпускников по программам опережающей
профессиональной подготовки (уровень – магистратура) – 30; по программам
переподготовки – 10, планируемое количество тех, кто будет трудоустроен в компании –
25 магистров.

      Краткое описание содержания программы

       В основу формирования содержания разрабатываемых программ подготовки и
переподготовки кадров положены потребности компании ОАО «НИИМЭ и Микрон»,
осуществляющей инвестиционные проекты ГК «Роснанотех» в области проектирования и
производства УБИС с топологическими нормами 90 нм в г. Москве, которая впервые в РФ
создала все условия для реализации проекта производства УБИС с проектными нормами
90 нм.
       Основой для реализации предлагаемой образовательной программы являются
магистерские программы «Технология и проектирование интегральных микросхем»,
«Проектирование интегральных элементов и технологических маршрутов», «Технология
интегральной наноэлектроники», действующие в МИЭТ по направлению магистерской
подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника».

                                        59
      Разрабатываемые в рамках проекта образовательные программы соответствуют
современным принципам организации учебного процесса, включая модульность учебных
дисциплин, увеличение часов, отводимых на самостоятельную работу слушателя,
использование мультимедийных средств в учебном процессе и электронных тестов.
      Учебная программа проекта объединяет в себе две программы подготовки
магистров, обеспечивающих формирование у обучающихся профессиональных
компетенций по профилям «Проектирование УБИС с топологическими нормами 90 нм» и
«Производство УБИС с топологическими нормами 90 нм».
      Помимо программ подготовки магистров разрабатываются модульные программы
переподготовки.
       В рамках проекта две программы подготовки магистров включают:
       а)   10 базовых курсов единых для проектировщиков и технологов, в т.ч.
            дисциплины гуманитарного и естественнонаучного цикла в соответствии с
            государственным образовательным стандартом;
       б)   по 15 –18 специальных курсов для каждого профиля обучения,
            подготовленных с привлечением ведущих специалистов таких организаций
            как ОАО «НИИМЭ и Микрон», Физико-технологический институт РАН,
            НИИ системных исследований РАН, ГУП НПЦ «Элвис», ООО «IDM», ЗАО
            ПКК «Миландр», Зеленоградский инновационно-технологический центр и
            других.
       в)   лабораторные практикумы по курсам, построенные на принципах
            реализации исследовательских работ в области проектирования и
            технологии ИС с проектными нормами 90 нм, в том числе:
            - проектирование низкочастотных аналоговых ИС с топологическими
                нормами 90 нм;
            - проектирование топологии КМОП АИС с наноразмерными элементами;
            - проектирование и верификация СФ-блоков на основе наноразмерных
                транзисторных структур;
            - проектирование систем на кристалле с проектными нормами 130-90 нм;
            - технологические процессы интегральной наноэлектроники;
            - особенности       моделирования    технологических     процессов    и
                наноразмерных структур;
            - методы диагностики наноразмерных элементов и структур;
            - подготовка данных для изготовления фотошаблонов, и другие.


       Содержание программы переподготовки специалистов будет отражать те
принципиальные моменты, которые отличают технологию создания электронных изделий
с топологическими нормами 90 нм от предыдущих уровней технологии. В частности, речь
идет о включении в учебную программу модулей по изучению таких особенностей
создания 90 нм изделия, как использование технологии «напряженного» кремния (что
приводит к увеличению электронно-дырочной проводимости в канале транзистора),
физико-технологических особенностей используемых транзисторных структур (с учетом
появляющихся и усиливающихся в таких структурах квантово – механических и краевых
эффектов, например, туннелирование через тонкие слои диэлектриков и области
пространственного заряда р-п переходов, деградация подзатворного диэлектрика,
обеднение затвора, модулирование порогового напряжения и длины канала и т.п.),
использование диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, использование
конструктивно-технологических методов борьбы с короткоканальными эффектами,


                                        60
использование    высокопроизводительных    транзисторов,  обладающих     низким
энергопотреблением и работающих при уменьшенном питающем напряжении (~1.2 В).

      Участие проектных компаний в разработке и реализации программы

      На первом этапе программы на основе анализа и уточнения потребностей
проектных компаний будут определены факторы повышения качества формирования
программ, эффективности форм и методов обучения.
      К основным отличительным особенностям данной программы следует отнести
расширенный перечень формируемых у слушателей профессиональных компетенций и
принцип вариабельности учебных планов, обеспечиваемый перечнем дисциплин
специализации по выбору заказчика, что предполагает дополнительные обязательства по
разработке учебных планов и методических материалов не менее 16 дополнительных
дисциплин специализации по каждому из профилей подготовки «Проектирование УБИС с
топологическими нормами 90 нм» и «Производство УБИС с топологическими нормами 90
нм».
      Защита выпускных квалификационных работ проводится на открытых заседаниях
Государственных аттестационных комиссий с участием в работе ГАК ведущих
специалистов предприятий ГК «Роснанотех» под председательством руководителя
инвестиционного проекта ГК «Роснанотех» в области проектирования и производства
УБИС с топологическими нормами 90 нм или его заместителя.
      Тематика диссертационных работ разрабатывается в рамках проектно-
ориентированного подхода и соответствует выполнению работ в рамках прикладных
научных проектов, интерес к которым подтвержден работодателем. Предусматривается
возможность со-руководства диссертациями как преподавателями МИЭТ и вузов –
соисполнителей, так и сотрудниками предприятий, реализующих инвестиционные
проекты ГК «Роснанотех», приглашенными преподавателями.

      Управление программой

       Управление реализацией образовательной программы предполагает использование
программно-целевого подхода, который обеспечит принцип целенаправленности
управления и минимизации используемых финансовых ресурсов при реализации
программы.
       Схема управления включает следующие основные элементы:
       Высшим исполнительным органом управления является ректор – руководитель
образовательной программы, осуществляющий оперативное управление программой.
       Ректор принимает и утверждает оперативные и стратегические решения,
обеспечивающие своевременное и качественное выполнение задач Программы. Ректор
создает учебно-методический совет (УМС) и дирекцию (ДП) Программы.
       Учебно-методический совет (УМС) проекта, в состав которого войдут
высококвалифицированные преподаватели (профессора) МИЭТ, ВГТУ и ЮФУ по
профилям подготовки, входящим в состав ООП магистратуры и программы
профессиональной переподготовки. Дирекция проекта (ДП) будет осуществлять текущее
управление проектом и процессом обучения, обеспечивать контроль за ходом выполнения
мероприятий, готовить промежуточные и итоговые отчеты. На дирекцию возлагается
ответственность за полное и объективное представление информации о ходе реализации
программы
       Наблюдательный совет (НС) проекта, в состав которого войдут представители
бизнес-сообщества, в первую очередь — проектных компаний ГК «Роснанотех»,
                                        61
реализующих инвестиционные проекты ГК «Роснанотех» в области проектирования и
производства УБИС с топологическими нормами 90 нм, и представители других
компаний, осуществляющих деятельность в области проектирования и производства
изделий микроэлектроники. НС будет осуществлять мониторинг хода выполнения
проекта с целью оценки эффективности проводимых работ и своевременной их
корректировки, принимать участие в промежуточном и итоговом оценивании
результативности программы, проводить аттестации, подтверждающие приобретение
обучающимися требуемых компетенций.


       Используемое оборудование


№         Наименование              Описание аудиторного фонда, лабораторного и
п/п    учебных аудиторий,                 технологического оборудования
         лабораторного и
        технологического
          оборудования
 1              2                                         3
1.    Лаборатория              Лаборатория нанотехнологии
      нанотехнологии:          Технологическое помещение общей площадью 72 кв.м.
                               класса чистоты 1000.

      Нанотехнологический      Нанотехнологический комплекс «Нанофаб-100» (уста-новка
      комплекс «Нанофаб-       молекулярно-лучевой эпитаксии гетеро-структур, установка с
      100», ЗАО «НТ-МДТ»,      фокусированным пучком ионов галлия с энергией 30 кВ и
      Россия, 2008г.           диаметром пучка 13 нм, сверхвысоко-вакуумный атомно-
                               силовой микроскоп, объединенных единой вакуумной и
                               транспортной системой): формирование гетероструктур,
                               создание полосковых устройств СВЧ – диапазона, атомно-
                               силовая микроскопия, создание активных элементов и
                               специа-лизированных интегральных схем наноэлектроники.
2.    Лаборатория атомно-      Лаборатория атомно-силовой микроскопии
      силовой                  Учебное помещение на 5 рабочих мест общей площадью 25
      микроскопии:             кв.м.
      - зондовый микроскоп     Зондовый микроскоп “Nanoeducator”. Сборочный комплект
      “Nanoeducator”, 5 ед.,   для обучения основам сканирующей туннельной
      ЗАО «Нанотехнология      микроскопии, атомно-силовой микроскопии, силовой
      МДТ», Россия, 2007г.     зондовой литографии, диагностики УБИС.




                                             62
3.   Лаборатория              Лаборатория рентгеновского анализа нанообъектов
     рентгеновского           Учебно-лабораторное помещение общей площадью 15 кв.м
     анализа нанообъектов:    на 4 рабочих места.

     Комплекс                 Комплекс рентгеновских измерительных систем
     рентгеновских            «МИНИЛАБ-6» для измерений многослойных наноструктур
     измерительных систем     (неразрушающий контроль параметров тонких пленок,
     «МИНИЛАБ-6» (X-Ray       сверхгладких поверхностей и внутренних границ раздела,
     MiniLab),                многослойных структур, ансамблей наночастиц,
     ООО «Институт            монокристаллов и поликристаллов).
     рентгеновской оптики»,   Определяемые параметры:
     Россия, 2003г.           - толщина тонких слоев (1-300 нм);
                              - величина шероховатости поверхности и переходных слоев
                              (от 0,1 нм);
                              - период многослойных структур (от 0,5 нм);
                              - плотность поверхностных слоев (при толщине слоев свыше
                              10 нм);
                              - период кристаллической решетки (от 0,1 нм);
                              - размеры и концентрация наночастиц и нанопор диаметром
                              1-50 нм.
                              Комплекс «МИНИЛАБ-6» имеет государственную лицензию
                              на эксплуатацию в неоснащенных помещениях.




                                           63
4.   Центр коллективного         Центр коллективного пользования «Диагностика и
     пользования                 модификация микроструктур и нанообъектов»
     «Диагностика и              Специализированные помещения, спроектированные с
     модифи-кация                использованием элементов конструкций чистых комнат.
     микроструктур и             Имеет антистатическое напольное покрытие, системы
     нанообъектов»:              вентиляции и кондиционирования воздуха. Общая площадь
                                 около 140 кв.м. Класс чистоты 8ИСО согласно ГОСТ Р 14644-
                                 1-2000. Включает локальную чистую зону размером 25 кв.м,
                                 класс чистоты удовлетворяет требованиям 7ИСО.

      Программно-                Программно-аппаратный комплекс для лаборатории анализа
      аппаратный комплекс        и обратного проектирования СБИС: диагностика
      для лаборатории            геометрических параметров, структуры и состава СБИС на
      анализа и обратного        основе систем кремний-германий, кремний на сапфире,
      проектирования СБИС:       арсениде галлия и др., в т.ч., выполненных по
      - растровый                технологическому процессу 90 нм; работы по микрохирургии
      электронный микроскоп      СБИС с целью восстанов-ления их топологии и схематики с
      Philips XL 40; - система   возможностью последующего моделирования.
      с фокусированным
      ионным пучком
      FEIFIB200;
      - устройство для
      получения цифровых
      снимков через
      микроскоп INM100 UV
      фирмы Leica
      Microsystems GmbH;
     - система
     декорпусирования NSC
     PS102W;
      - система сухого
      ионного травления RIE-
      1C;
      - программное обеспече-
      ние (ПО)
      для получения и
      обработки изображений,
      восстановления
      топологии СБИС
      компании Sanguine.
      Запуск в эксплуатацию -
      2007г.
5.    Лаборатория                Лаборатория элементной базы наноэлектроники
      элементной базы
      наноэлектроники:           Технологические помещения общей площадью 150 м2,с
                                 классом чистоты 1000, в которых находится технологическое
                                 оборудование, имеются локальные чистые зоны с классом
                                 чистоты 100 – 10 м 2 для литографического оборудования.

     - установка                 Установка наноимпринт- литографии FC 150 SUSS Micro Tec
     наноимпринт-                AG. Получение масок с нанометровым разрешением на
     литографии FC 150           полупроводниковых структурах c разрешением до 18 нм.
     SUSS Micro Tec
     A.,Франция-Германия,
     2008г;
                                               64
     - установка нанесения и     Установка нанесения и сушки SUSS Delta 6RC HP.
     сушки SUSS Delta 6RC        Высокоточное нанесение масок фоторезистов на
     HP, Германия, 2007г.;       полупроводниковых структурах размером до 100 мм.

     - установка плазменного     Установка плазменного травления Corial 200 IL.
     травления Corial 200 IL ,   Прецизионное плазменное травление диэлектрических слоев,
     Франция, 2008г;             включая оксид и нитрид кремния с интерференционным
                                 контролем толщины, точность контроля 1 нм.

     -установка напыления        Установка напыления металлов AXXIS. Получение пленок
     металлов AXXIS, Kurt        различных металлов и сплавов термическим и электронно-
     Lesker, США, 2008г.;        лучевым испарениев в глубоком вакууме с точностью 10
                                 ангстрем

     -установка нанесения        Установка нанесения диэлектрических покрытий Corial D250.
     диэлектрических             Низкотемпературное нанесение диэлектрических слоев
     покрытий Corial D250,       оксида и нитрида кремния с интерференционным контролем,
     Франция, 2008г.;            точность контроля толщины 1 нм.

     -измерительный стенд        Измерительный стенд контроля статических и импульсных
     характеристик полупро-      характеристик в частотном диапазоне до 40 ГГц
     водниковых приборов         полупроводниковых приборов на основе зондовой установки
     Agilent 4155 на основе      межоперационного контроля SUSS РМ5.
     зондовой установки
     межоперационного
     контроля SUSS РМ5,
     США, 2007г.
6.   Лаборатория                 Лаборатория плазмохимической обработки
     плазмохимической            Лабораторный участок класса частоты 100 в технологическом
     обработки                   помещении общей площадью 180 кв.м

     Кластерная установка        Кластерная установка плазмохимического травления
     плазмохимического           ультратонких диэлектрических слоев химически стойкий
     травления диэлектри-        турбомолекулярный насос, позволяющий поддерживать
     ческих слоев, Германия,     давление в реакторе установки в диапазоне 0,0001÷1 мм.рт.ст.
     2007г.                      при натекании газов-реагентов в диапазоне 10÷1000
     Кластерная установка        ст.см3×мин вакуумного затвора с изменяющимся сечением
     плазмохимического           откачки в линии между маршевой турбиной и реактором;
     травления металлов,           генератор с изменяющейся мощностью в диапазоне 0÷600
     Германия, 2007 г.           Вт (13,56 МГц)
                                   возможность изменения расстояния между электродом и
                                 стенками камеры;
                                 · контроллеры потока газов-реагентов (диапазоны
                                 регулировки устанавливаются по согласованию с
                                 заказчиком);
                                 · химически-стойкий форвакуумный насос.·
                                    водоохлаждаемый электрод для возбуждения емкост-ного
                                 разряда с измерением температуры поверхности и
                                 тепловыравниванием за счет организации гелиевой подушки·
                                 возможность использования жидкого азота в
                                 качествеохладителя (опция)
                                 · емкостной вакуумметр для измерения давления внутри
                                 реактора in situ во время процесса плазмохимического
                                 травления· возможна установка интерферометра в качестве
                                 опции
                                               65
                              · 1 газовая линия с контроллером потока газа в корро-зионно-
                              стойком исполнении с возможностью термоста-тирования
                              либо подачи сжиженных газов (BCl3 либо СCl4)
                              · 2 газовые линии с контроллерами потока газа в обычном
                              исполнении (Ar, He)
                              в качестве опции предлагаются 2 дополнительные линии
                              (N2O, в обычном исполнении, и СF4 в коррозионно-стойком)
                              · по желанию заказчика возможна корректировка состава
                              газовых линий в пределах указанного количества под иные
                              процессные газы и газовые смеси, а также установка в
                              качестве опции дополнительных газовых линий
                              · система управления установкой позволяет управлять в
                              автоматическом режиме системой откачки (в базовой
                              комплектации) и процессом травления (опция)
                              · загрузка/выгрузка образцов производится в ручном режиме
                              через фланец быстрой загрузки
                              Кластерная установка прецизионного плазмохимического
                              травления металлов
                              · химически-стойкий форвакуумный насос
                              · нагреваемый столик для обрабатываемых пластин с
                              температурой нагрева до 400оС и контролирующей
                              термопарой.
                              · водоохлаждаемый индуктивный источник ICP-плазмы,
                              предусматривающий установку интерферометра
                              · интерферометр (опция)
                              · емкостной вакуумметр для измерения давления внутри
                              реактора in situ во время процесса плазмохимического
                              травления металлов
                              · 1 газовая линия с контроллером потока газа в коррозионно-
                              стойком исполнении (CF4)
                              · 3 газовые линии с контроллером потока газа в обычном
                              исполнении (SiH4, N2O, Ar)
                              · по желанию заказчика возможна корректировка состава
                              газовых линий в пределах указанного количества под иные
                              процессные газы и газовые смеси, а также установка в
                              качестве опции дополнительных газовых линий.

     Установка плазмохи-      Установка плазмохимического травления AMS200
     мического травления      IProductivity для глубокого травления кремния занимает
     AMS200 SE I-             технологическое помещение площадью 10 кв.м (локальная
     Productivity, ALCATEL,   зона класса чистоты 1000 в исследовательской лаборатории).
     Франция, 2007г.          Скорость травления 5-10 мкм/мин, глубина травления 100-
                              200 мкм, вертикальность травления 90о±0,5о.
7.   Лаборатория              Лаборатория технологии наноматериалов
     технологии
     наноматериалов:          Технологическое помещение общей площадью 50 кв.м.
                              класса чистоты 1000.

     Комплект изотропного     Комплект изотропного электрохимического травления
     электрохимического       пористого кремния AMMT PS.Анодное формирование
     травления пористого      люминесцентных слоев пористого кремния. Катодное
     кремния AMMT PS,         осаждение тонких металлических слоев, формирование
     AMMT, Германия,          элементов металлизации современных УБИС.
     2006г.

                                            66
      Установка осаждения из    Установка осаждения из газовой фазы нитевидных
      газовой фазы              нанокристаллов и нанотрубок, EasyTube 2000 для проведения
      нитевидных                процессов по исследованию и получению нанообъектов.
      нанокристал-лов и         Осаждение из твердого, жидкого и газообразного источников
      нанотрубок, EasyTube      углеродных наноструктур (фуллерены, нанотрубки), металл-
      2000, First Nano, США,    оксидных нанокристаллов и других перспективных
      2007                      материалов наноэлектроники.
8.    Лаборатория               Лаборатория термических процессов изготовление СБИС:
      термических               Лабораторный участок класса частоты 100 в технологическом
      процессов                 помещении общей площадью 180 кв.м
      изготовление СБИС:        Комплекс для хим. осаждения из газовой фазы при
                                пониженном давлении и отжига SVFUR для формирования
      4-х канальная печь        функциональных слоев структур наноэлектроники:
      SVFUR-AH4-1,              • стандартный промышленный компьютер управления TERM-
      компания SVCS, Чехия,     10B с встроенным дисплеем и мембранной клавиатурой;
      2007г.                    • устройство для регулирования температуры SVTherm;
      4-х канальная печь        • устройство интерфейса SV-GIB (gas interface board) с
      SVFUR-AH4-2,              независимой аппаратной защитной блокировкой;
      компания SVCS, Чехия,     • выборочная ручная панель управления;
      2007г.                    • операторский интерфейс (визуализация);
      4-х канальная установка   • супервизор SEZCON;
      хим. осаждения из         • надстройка для включения супервизора в систему
      газовой фазы при          управления производством.
      пониженном давлении       - управление расходом газов;
      SVFUR. Компании           - управление вакуумной системой (только у LPCVD);
      SVCS, Чехия, 2007г.       - коммуникация с посторонним регулятором температуры;
                                - коммуникация с автоматическим загрузочным устройством
                                (супервизором) ;
                                - устойчивость регуляции < 0.1 ÷ 0.2°C;
                                - заброс температуры при разгоне < 0.5°C.
 9.   Лаборатория               Лаборатория фотолитографии
      фотолитографии            Лабораторный участок класса частоты 100 в техно-
                                логическом помещении общей площадью 180 кв.м
      Установка контактной      Установка контактной фотолитографии MA-15DE BSA для
      фотолитографии MA-        получения рисунка с геометрическими размерами до 40нм.
      15DE BSA, Canada          - Экспонирование высокого разрешения – до 0,5 микрон
      Analytical & Process       Размер обработки пластин и подложек - до 100 мм
      Technologies, 2007            диаметром (пластины) и до 100х100 мм (подложки).
                                 Специальные держатели для кусков пластин, А3-Б5,
                                    толстых подложек, гибридных схем и ВЧ
                                 Высокоточная юстировка на плоскости и манипулятора
                                    микроскопа
                                 Возможность конфигураций оптики интенсивной УФ и
                                    экспозиций с длиной волны до 80 мВт/см2
                                 Минимальные затраты на обучение операторов установки
                                 Продуманная эргономика
                                 Графический интерфейс пользователя управляет функциями
                                    установки со специального экрана, чувствительного к
                                    нажатиям
                                 Легкий доступ ко всем элементам установки
                                 При необходимости устанавливается лазерное
                                    оборудование
      Установка нанесения       Установки нанесения фоторезиста GAMMA 4M2S и
      фоторезиста GAMMA         проявления фоторезиста GAMMA 4M – автомати-зированные

                                             67
4M2S, Canada Analytical    системы для НИОКР и пилотных производств:
& Process Technologies,     Компактная кластерная архитектура с роботом,
2007                          расположенным по центру и модулями процессов,
                              расположенными вокруг него.
 Установка проявления       До трех наносящих/проявляющих модулей
фоторезиста GAMMA           До трех температурных стеков, в каждом из которых до
4M, Canada Analytical &       шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
Process Technologies,       Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
2007                        Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим измене-нием
                              крепления между размерами подложек
                            Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от
                              2 до 6 дюймов
                            Параллельная потоковая функциональность даже с разными
                              размерами подложек для оптимального использования
                              мощностей системы
                            Технология GYRSET – вращающийся купол для
                              равномерного нанесения по высокой топографии
                            Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
                            Очистка края
                            Нанесение резиста струйным способом и спреем для
                              высокой равномерности распределения
                           Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM
Установка соединения       Установка прецизионного двухстороннего совмещения и
пластин и подложек         экспонирования для подложек диаметром до 150 мм. Кроме
Suss Microtech Substrate   стандартной литографии с верхней и нижней сторон и
bonder SB6, SUSS           возможности прецизионного совмещения пластин для их
MicroTec Inc., 2007г.      скрепления, установки могут применяться в области
                           нанотехнологий, например, для переноса рисунка со штампа
                           на подложку для микроконтактной печати и литографии для
                           получения нанооттисков. Все методы экспонирования
                           стандартны, включая режимы мягкого, жесткого
                           экспонирования, вакуумный контакт и экспонирования с
                           микрозазором. Для режимов вакуумный контакт и
                           экспонирования с микрозазором не требуется специальных
                           приспособлений
                              Прецизионная точность совмещения (до 1 мкм)
                              Уникальная система клиновой компенсации на воздушных
                           подшипниках
                              Верхний микроскоп с раздельной областью наблюдения с
                           матрицей
                              объективов либо с одиночным объективом
                              Совмещение по нижней стороне с помощью двух CCD-
                           камер и монитора с высоким разрешением
                              Стандартное совмещение по верхней стороне с помощью
                           CCD-камер
                              Стандартные объективы для верхнего и нижнего
                           микроскопов (от х3.6 до х20)
                               - Оптическое с овмещение пластины с шаблоном




                                         68
10. Лаборатория контроля         Лаборатория контроля параметров функциональных
     параметров                  слоев
     функциональных              Технологическое помещение класса частоты 100 общей
     слоев                       площадью 25 кв.м.
    Оптический микроскоп         Оптический микроскоп Vistec INM200 UV высокого
     Vistec INM200 UV            разрешения для визуального контроля функциональ-ных
     высокого разрешения,        слоев.
     Leica Microsystems          1. Индивидуальное эргономическое позициониро-вание по
     GmbH, Германия, 2007г.      высоте ручек настройки на резкость и управление столиком.
                                 2. Полная симметрия ручек управления столиком и наводки
                                 на     резкость,   что    способствует     симмет-ричному
                                 расположению рук исследователя и дает возможность
                                 управления всеми функциями одной рукой.
                                 3. Быстрая смена стороны управления столиком (правого на
                                 левый и наоборот)
                                 4. Ультратвердая керамическая поверхность столика,
                                 устойчивая к действию химических реактивов и абразивов.
                                 5. Новый АББЕ-конденсор с кодированной апертурной
                                 диафрагмой.
                                 6. Объективы со сбалансированным светопропус-канием, не
                                 требующие изменения освещенности при их смене.

11.   Лаборатория                Лаборатория проектирования СБИС
      проектирования             Учебно-лабораторное помещение общей площадью 180 кв.м,
      СБИС                       более 70- рабочих мест.
      Высокопроизводительна      Мощнейший, в своем классе, вычислительный кластер для
      я вычислительная           сверхресурсоемких приложений компа-ний Cadence, Agilent и
      техника, аппаратная        Synopsys. Sun V890 представ-ляет собой 16-ти процессорный
      платформа современных      сервер с 32-мя Гб оперативной памяти и распределенной
      средств САПР.              дисковой системой с возможностью резервирования и
      Вычислительные             горячей замены носителей. Благодаря использованию этого
      мощности на основе         инструментария повышается эффективность и сни-жаются
      сервера Sun V890.          сроки и риски разработки, за счет ускорен-ного проведения
      Sun Microsystem, США,      физической верификации, как наиболее требовательного к
      2007.                      вычислительным ресурсам этапа
                                 Современная аппаратная платформа для ресурсоемкого
      Вычислительные             программного обеспечения компаний Cadence, Agilent и
      мощности на основе         Synopsys. HP Proliant 350 представляет собой 2-х
      сервера HP Proliant 350.   процессорный 8-ми ядерный
      HP, США, 2007.             (3ГГц) сервер с оперативной памятью 16Гбайт и
      Вычислительная             высокоскоростной дисковой подсистемой. Благодаря
      техника компании HP        использованию этого инструментария повышается
      50 рабочих станций на      эффективность и снижаются сроки разработки, за счет
      основе Intel Xeon 3 ГГц,   проведения высокоскоростных вычислительных операций и
      HP, США, 2007.             итераций процесса проектирования.
      ПО САПР ведущих            Проектирование систем на кристалле и систем в корпусе с
      компаний в области         топологическими нормами до 45 нм. Компания Cadence
      автоматизации              является лидером на рынке САПР микроэлектронных
      проектирования ИС          изделий. Методологиями проек-тирования компании Сadence
      САПР Cadence               пользуютя ведущие производители микроэлектронных
      САПР Synopsys              изделий (Intel, IBM, FreeSacle и т.д.). Сотрудничество
      САПР Mentor Graphics       организации участника конкурса с компанией Cadence
      Программный комплекс       способст-вует лицензионному доступу к новейшим
      экстракции параметров      технологиям и методологиям проектирования, включая

                                              69
      п/п приборов Agilent        методоло-гию параметризации и энергетической
      85190L (Agilent Tech,.      оптимизации цифровых компонентов. Сотрудничество
      США, 2007)                  организации участника конкурса с компанией Cadence
                                  способствует лицензионному доступу к новейшим
                                  технологиям и методологиям проектирования.
                                  Приборно - технологическое моделирование изделий микро -
                                  и наноэлектроники, Проектирование систем на кристалле и
                                  систем в корпусе. Построение моделей работы
                                  полупроводниковых структур библиотечных элементов с
                                  учетом распределения концентраций примеси, распределения
                                  потоков подвижных носителей в интегральной
                                  полупроводниковой структуре и с использованием наиболее
                                  современных методов численного моделирования
                                  повышенной точности.
                                  Проектирование систем на кристалле и систем в корпусе,
                                  проектирование печатных плат. Физическая верификация с
                                  допусками до 45 нм.
                                  Автоматизированная экстракция параметров
                                  полупроводниковых приборов с технологическими нормами
                                  до 45нм. Комплекс обеспечивает высокую
                                  производительность обработки большого количества
                                  статических характеристик полупроводниковых приборов и
                                  позволяет обеспечить определение параметров создаваемой
                                  наноэлектронной элемент-ной базы со сверхмалым
                                  энергопотреблением.
12.   Лаборатория                 Лаборатория автоматизированного функционального и
      автоматизированного         параметрического контроля СБИС
      функционального и           Учебно-лабораторное помещение общей площадью 150 кв.м,
      параметрического            более 30 рабочих мест.
      контроля СБИС

      Установка тестирования      FLEX – новое поколение тестеров, расширяющее
      микросхем Ultra Flex        возможности великолепно зарекомендовавших себя на рынке
      Teradyne, Teradyne, Inc.,   систем Integra (J750). Оригинальная архитектура систем
      2007г.                      позволяет подключать к любому выводу тестируемой
                                  микросхемы все имеющиеся инструменты: цифровой ввод-
                                  вывод, источники сигналов постоянного и переменного тока,
                                  блоки питания, модули параметрического контроля, гене-
                                  раторы, формирователи и измерители временных параметров.
                                  FLEX удовлетворяет требованиям по тестированию
                                  практически всех существующих устройств, от обычной
                                  цифровой логики и операционных усилителей до
                                  сложнейших современных БИС, включая System-On-Chip
                                  (SOC) до System In Package (SIP). Тестеры FLEX с успехом
                                  могут использоваться как для готовых микросхем при
                                  входном/выходном контроле, так и для проверки
                                  полупроводниковых пластин. Время тестирования полностью
                                  ограничено скоростью работы тестируемых микросхем, а не
                                  возможностями тестера.
      Современный                 Служит для электрического соединения полупроводниковых
      многоцелевой                кристаллов со структурами библиотечных элементов на
      автоматизированный          основе МОП структур в составе пластин с прибором для
      комплекс по                 измерения вольтамперных характеристик разрабатываемых
      электрофизической           полупроводниковых приборов. Широко распростра-ненное
      верификации и               средство для надежного контактирования с проводящими
                                                70
  функциональному           микроплощадками в составе микроэлектронных схем.
  контролю изделий          Обеспечивает измерения в широком частотном диапазоне с
  микро- и                  минимальными вносимыми измерительными погрешностями
  наноэлектроники.          и помехами, позволяет проводить температурные измерения
                            Диапазон частот: до 40ГГц
                            Диаметр пластин: до 200мм
                            Наличие вакуумной камеры
                            Диапазон температур термокамеры: 0 до 200 *С
                            Полуавтоматический и ручной режим работы
                            Выкатываемая платформа для удобного и простой загрузки
                            пластин
  Высокочастотная           Программное обеспечение для калибровки WinCal 2006
  полуавтоматическая        вместе с новым калибровочным комплектом eLRRM и
  зондовая установка        компенсации индуктивностей повышают точность измерений
  Cascade Microtech         Калибровка относительно NIST
  Summit 11500. до          Полная совместимость с оборудованием Agilent
  40ГГц., США, 2007г.       Модернизируемость до 325ГГц
                            Модернизируемость оборудования - система может быть
                            модернизирована на месте с помощью МикроКамеры,
                            термоплатформы и такими системами, как AttoGuard, 8"
                            chuck & PureLine.
  Осциллограф TDS-          Визуализация, электрические и временные измерения
  6124С Tektronix., США,    параметров изделий микро- и наноэлектроникик.
  2007г.                    Осциллограф имеет характеристики:
                            Полоса пропускания 12 ГГц; 4 канала;
                                 Цветной или монохромный ЖК-дисплей;
                                 Меню автоустановки с выбором типа сигнала;
                            Функция «мастер настройки щупов» для проверки
                            согласования импеданса и коэф. деления пробников;
                                 Контекстно-зависимая подсказка на экране;
                                 Двойная горизонтальная развертка;
                                 Расширенная синхронизация;
                                 25 автоизмерений;
                                 Запоминание осциллограмм и установок.

 Прибор наблюдения          Служит для измерения вольтамперных и вольтфа-радных
 характеристик              характеристик разрабатываемых интеграль-ных
 полупроводни-ковых         библиотечных элементов на основе МОП структур,
 приборов фирмы Agilent     расположенных как в составе кристаллов на пластине, так и в
 Tech B1500, США,           виде отдельно смонтированных в корпус образцов. Прибор
 2007г.                     обеспечивает высокую надежность и высокую степень
 Модульный генератор        автоматизации измерения статических характеристик
 сигналов Tektronix DTG     полупровод-никовых приборов, с сохранением уровня
 5274                       точности.
 В составе комплекса        На базе стандартного контрольно-измерительного
 входят более 100           оборудования построен учебно-исследовательский
 позиций приборов           контрольно-измерительный комплекс, предназна-ченный для
 следующего класса:         проведения лабораторных практикумов, НИР и НИОКР в
 Универсальный        2-   облясти физики полупроводниковых
 каналь-ный генератор       приборов, микро- и наноэлектронике и методам измерений в
 стандартных сигна-лов      микро- и наноэлектроники. Комплекс представляет собой
 фирмы          Tektronix   систему современного контрольно-измерительного
 AWG5012, США, 2007г.       оборудования компаний Tektronix и Agilent, состоит из
 Модульный генератор       осциллографов смешанного сигнала, различных генераторов,

                                          71
          им-пульсов и цифровых       мультиметров и источников питания чув100пВ/100нОм.
          после-довательностей со     фирмы Agilent Tech. 34420A,США, 2007
          встроен-ным ПК на базе
          WINDOWS            фирмы
          Tektronix      DTG5274,
          США, 2007г.
           Логический
          анализатор      на    134
          канала фирмы Tektronix
          TLA5204, США, 2007г.
          Осциллограф            4-
          канальный      циф-ровой
          запоминающий            с
          аналоговой        полосой
          пропус-кания не менее 4
          ГГц на всех каналах
          одновременно       фирмы
          Tektronix       MSO4000
          США, 2007г.
           Высокочастотный
          измеритель LCR на
          частотах до 30 МГц
          фирмы Agilent Tech.
          4285A, США, 2007г.
           Источник        питания
          постоян-ного         тока
          фирмы Agilent Tech.
          N6000 США, 2007г.
           Цифровой мультиметр
          фирмы Agilent Tech.
          Нановольтметр/микроо
          мметр, 7.5 digit,
13.       Центр эксплуатации и        Центр эксплуатации и технической диагностики
          технической                 специализированных инженерных комплексов
          диагностики                 Зона класса частоты 100 в технологическом помещении
          специализированных          общей площадью 180 кв.м
          инженерных                  Газоизмерительный комплекс “Система мониторинга
          комплексов:                 токсичных газов SATELLITE” представляет собой
          Газоизмерительный           интеллектуальный передатчик параметров детектирования
          комплекс “Система           газов, который использует уникальный электрохимический
          мониторинга токсичных       сенсор для обнаружения токсичных, коррозионных и
          газов SATELLITE”,           горючих газов. Прибор Satellite является расположенным на
          HoneyWell, США,             "месте использования" монитором, который обычно
          2007г.                      установлен на или вблизи места потенциального источника
                                      газа. Широкий диапазон датчиков для обнаружения
          Климатический               токсичных, коррозионно опасных и горючих газов.
          комплекс                    Постоянный мониторинг в режиме реального времени.
                                      VRV и VRF системы кондиционирования представ-ляют
                                      собой совокупность агрегатов, обеспечиваю-щих
          Нагреватель                 кондиционирование и вентиляцию крупных зданий (в том
          деионизированной воды       числе многоэтажных), имеющих большую площадь
          Lufran250W SCR,             остекленения и большое коли-чество помещений.
          Process Technology,         Электронный терморегулирующий вентиль непрерывно
          США, 2007                   регулирует расход хладагента в соответствии с изменениями

                                                    72
                        нагрузки внутренних блоков. Таким образом, позволяет
Система нейтрализации   поддерживать практически постоянную комфортную
выбросов CT-BW с        темрера-туру воздуха. Применение специализированной
модулями TwinK3 и K4    системы контроля гарантирует, что отклонение температуры
                        воздуха не привысит ±0,5С°.
                         Не происходит аварийной остановки всего оборудования
                         Объединение внутренних блоков в логические группы для
                        удобства управления
                        Задание режимов работы внутренних блоков — включение /
                        выключение; установка желаемой температуры в помещении;
                        разрешение / запрет управления блоком с автономного пульта
                        (отдельно на включение / выключение / установку требуемой
                        температуры); задание направления воздушного потока
                        (шесть положений) для низкой и высокой скорости
Установка гидродина-    вентилятора
мической отмывки        Оптимизация и подсчет затрат на электроэнергию с
пластин EVG320, EVG     возможностью задания дневного и ночного тарифов
Group, Австрия, 2007    Нагреватель деионизированной воды:
                        - единый модуль-колонна;
                        - температура - max 95c;
                        - потребляемая мощность 65kw;
                        - рабочее напряжение 480v;
                        - количество питающих фаз 3;
                        токовая нагрузка до 78А.
                        Система нейтрализации выбросов CT-BW с модулями
                        TwinK3 и K4
                        Подходит для всех CVD и многих процессов травления.
                        Каждый вход может быть сконфигури-рован для обеспечения
                        высокого уровня очистки ото всех перфторуглеродных газов,
                        вызывающих
                        глобальное потепление, фтора, ClF3. TPU может работать
                        со входными потоками до 280 ст. л/мин.
                        Очистка выбросов процессов травления. Обеспечивает
                        химическую переработку широчайшего диапазона газов от
                        галогенов и кислот до ClF3, NF3, SF6 и других галогенных
                        травителей до устойчивых инертных солей. Сдвоенная
                        газовая реакционная колонна D150 обеспечивает работу
                        с двумя сменными модулями, минимизируя, таким образом,
                        эксплуатационные затраты за счет возможности непрерывной
                        работы
                        Установка гидродинамической отмывки полупро-водниковых
                        пластин EVG320 предназначена для мойки струей воды,
                        смешанной с воздухом, и сушки пластин после резки ее на
                        кристаллы.
                        В установке используется способ струйной
                        гидродинамической очистки, заключающийся в подаче на
                        очищаемую поверхность водяной струи,
                        смешанной со сжатым воздухом. Имеются три режима
                        работы установки: мойка; сушка; автоматический –
                        мойка+сушка.
                        В качестве моющего раствора используется деиони-зованная
                        вода. Сушка производится в струе очищенного подогретого
                        сжатого воздуха или инертного газа за счет центробежного
                        эффекта с раскручиванием пластины до 3000 об/мин. В

                                      73
                       зависи-мости от режима работы управляющий контроллер
                       выдаёт аналоговое задание скорости вращения центрифуги, а
                       также обеспечивает заданные скорость и ускорение.
                       Программируемый режим перемещения сопла высокого
                       давления позволяет осуществлять качест-венную очистку
                       широкого диапазона типоразмеров кристаллов. Движение
                       сопла может проходить по трём разным траекториям – по
                       радиусу, по диаметру и смешанный.
                       Для исключения аварийных ситуаций и повреждения
                       отмываемых пластин управляющий контроллер отслеживает
                       наличие в системе воды, вакуума и воздуха.
14.   Мультимедийные   Лекционные аудитории на 1400 посадочных мест общей
      лекционные       площадью 370 кв.м с уникальными мультимедийными
      аудитории        комплексами обратной проекции Медиавизор Mobile Touch
      (9 аудиторий)    от 67” до 134” , имеющие системы звукоусиления,
                       подключенные к Интернет, кабельному и IP-телевидению
15.   Мультимедийный   Аудитория для совещаний, оснащенная мультиме-дийной и
      конференц-зал    вычислительной техникой, системой звукоусиления,
                       комплексом видеоконференцсвязи Polycom 7000




                                     74
3.9. Программа профессиональной переподготовки кадров, предложенная
Государственным        образовательным      учреждением      высшего
профессионального образования «Томский государственный университет
систем управления и радиоэлектроники» (ТУСУР) для проектных
компаний ГК «Роснанотех», реализующих инвестиционные проекты в
области производства конкурентоспособной продукции наноэлектроники на
основе наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ
диапазона длин волн и дискретных полупроводниковых приборов.


      По заказу: ООО «Субмикроннные технологии», ЗАО «НПФ «Микран», ID 481.



      Основные характеристики программы

       Программа начинается во втором полугодии 2010 года и завершится до конца года.
Формат обучения: дневная форма работы, 1 день в неделю, вечерние занятия – 1 раз в
неделю, консультации – 2 раза в неделю, проведение двух интенсивных сессий на выезде
в г. Новосибирск (НГУ, ИФП СО РАН), г. Москва (МИЭТ (ТУ).
       Слушателями программы являются работники компании (главным образом,
инженеры-технологи) и аспиранты ТУСУРа, которые в дальнейшем будут трудоустроены
в компании. Всего планируется переподготовить 15 человек, все выпускники будут
работать в компании.

      Краткое описание содержания программы

      Базовые подходы, положенные в основу программы:
      - переподготовка кадров применительно к данной образовательной программе –
         это решение задачи формирования у обучаемых нового инновационного
         мировоззрения, новой технологической культуры и творческого подхода,
         основывающиеся на получении и освоении новых технических знаний,
         формировании умений и навыков;
      - предусмотрен частичный отказ от классической схемы «академического»
         образования с максимальной ориентацией на задачи проектных компаний
         Томской области, реализующих инвестиционные проекты в области
         производства конкурентоспособной продукции наноэлектроники на основе
         наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ диапазона длин
         волн (ООО «Субмикронные технологии», ЗАО «НПФ «Микран» и др.), и
         целевую подготовку необходимых кадров для современного производства
         наногетероструктур и СВЧ монолитных интегральных схем на их основе;
      - важным представляется обеспечение междисциплинарного характера
         образования специалистов в различных областях фундаментальной и
         прикладной науки и техники, вовлечение в образовательный процесс
         представителей различных областей знаний из научной, образовательной,
         производственной и бизнес среды.

                                         75
      Структура образовательной программы предполагает реализацию двух основных
специализаций: "Технология СВЧ МИС" и "Проектирование СВЧ МИС". Программу
будут вести штатные преподаватели и привлекаемые специалисты: доктроров наук,
профессоров – 9, кандидатов наук, доцентов – 11, специалистов предприятий – 6,
иностранных специалистов – 6.

        Участие проектной компании в разаработке и реализации программы

      Компания принимает участие в разработке и реализации программы на всех этапах
выполнения проекта, основные формы – проведение рабочих совещаний, проведение
семинаров и участие в координационном совете.

        Управление программой

        Создан Совет программы в следующем составе:

  №              Фамилия, имя, отчество                            Организация
  п/п
  1.  Шурыгин Юрий Алексеевич, председатель                  ТУСУР, ректор
  2.  Шелупанов Александр Александрович, зам.                ТУСУ, проректор по НРР
      председателя
  3.  Малютин Николай Дмитриевич, координатор                ТУСУР, директор НОЦ
      проекта
  4.  Кагадей Валерий Алексеевич                             ООО «Субмикронные
                                                             технологии, директор
  5.     Плутенко Андрей Долиевич                            ГК «Роснанотех», куратор
                                                             проекта
  6.     Бабак Леонид Иванович                               ТУСУР, доцент
  7.     Гюнтер Виктор Яковлевич                             ЗАО «НПФ «Микран», ген.
                                                             директор
  8.     Гаврилов Сергей Александрович                       МИЭТ (ТУ), проректор по
                                                             НР
  9.     Толбанов Олег Петрович                              ТГУ, профессор
  10.    Троян Павел Ефимович                                ТУСУР, профессор, зав.
                                                             каф. ФЭ


        Используемое оборудование


№           Наименование       Описание аудиторного фонда, лабораторного и технологического
п/п      учебных аудиторий,                           оборудования
           лабораторного и
          технологического
            оборудования
 1                2                                          3
 1             Научно-         НОЦ НТ размещен по адресу г. Томск, ул. Вершинина, 76/1.
          образовательный      Общая площадь 300 кв. м. Состав НОЦ НТ:
        центр по направлению   1.    Участок электронной литографии на базе электронного

                                            76
«Нанотехнологии»   микроскопа серии Zeiss Supra 55 с блоком для электронно-
ТУСУРа (НОЦ НТ)    лучевого экспонирования Raith 150, обеспечивающего разрешение
                   до 20 нм и позволяющего проводить исследования и реализовать
                   технологию электронной литографии наногетероструктурных
                   материалов и элементов монолитных интегральных схем СВЧ и
                   миллиметрового диапазонов.
                   2.      Дизайн-центр     и   участок   измерения      параметров,
                   содержащий следующее основное оборудование и программное
                   обеспечение: стенд для выполнения СВЧ измерений мощности и
                   коэффициента шума монолитных интегральных схем на
                   подложках в импульсном и режиме и в диапазоне частот до
                   50 ГГц на основе зондовой станции Cascade для характеризации
                   параметров наногетероструктурных транзисторов и интегральных
                   схем; программное обеспечение – профессиональная версия
                   Microwave Office, интеллектуальная среда проектирования
                   радиоэлектронных устройств «Intelligent Design System» (гос.
                   регистрация программы для ЭВМ № 2008612128 от 29 апреля
                   2008 года), позволяющее проводить моделирование и
                   проектирование монолитных интегральных схем в диапазоне
                   частот до 40 ГГц с последующей отработкой ПО под имеющиеся
                   технологии.
                   3.      Участок инженерного обеспечения чистых помещений.
                   Основное оборудование НОЦ:
                   3.1. Электронный микроскоп серии Zeiss Supra 55 с блоком для
                   электронно-лучевого экспонирования Raith 150
                   Разрешение на менее 20 нм; термоэмиссионный автоэмиссионный
                   катод типа Schottky; свободный от кросоверов пучок с высокой
                   плотностью тока; цифровая электронная оптика с энергией пучка
                   100 eV - 30 keV.
                   3.2.    Ввакуумная камера со смотровым окном; безмасляная
                   система откачки (безмасляный спиральный насос со скоростью
                   откачки не менее 30 м3/час и криогенный насос со скоростью
                   откачки по азоту не менее 2500 л/с); расположенный по центру
                   камеры электронный луч TFI TELEMARK; съемный
                   вращающийся нагреватель на 6 тиглей.
                   3.3. Установка отмывки пластин OPTIwet SB30.
                   Возможность обработки пластин до Ø 300 мм и образцов до
                   225x225 мм; 2 роботизированные руки с программируемой
                   скоростью передвижения и положением.
                   3.4. Установка нанесения ФР OPTIspin SB20
                   Система центрифугирования для нанесения резистов с
                   универсальной рабочей емкостью с анти-брызговым кольцом;
                   скорость: от 1 до 10 000обр/мин с шагом 1обр/мин.
                   3.5. Установка допроявления ФР YES-G500
                   Отображение параметров обработки в реальном времени.
                   ВЧ генератор мощностью 40 кГц 100-500 Вт с перестройкой
                   частоты для оптимизации согласования нагрузки; датчик давления
                   на 0.001-1000 тор; вместимость - 1 пластина: 50, 75, 100, 125, 150
                   или 200 мм.
                   3.6. Микроскоп Vistec (Leica) INM100 UV
                   Контроль пластин и фотошаблонов в видимом и УФ диапазонах
                   излучения; микроскоп оснащен цветной цифровой камерой;
                   оснащен объективами с увеличением 5х, 10х,50х и 100х, а также
                   УФ объективом с увеличением 150х; оснащение программным
                   обеспечением для измерения линейных размеров элементов,
                                  77
                        обработки и сохранения изображений.


 Центр коллективного    Микроскоп Электронный ТМ-1000.
пользования (ЦПК) по    Растровый микроскоп «Hitachi TM-1000», программный комплекс
     диагностике        «Hitachi TM-1000». Снимки поверхности образца с разрешением
    наноструктур        до 100 нм с возможностью указания на снимке точных размеров
методами электронной    интересующих областей. Ускоряющее напряжение: 15 кВ.
   и молекулярной       Степень увеличения: от 20 до 10000 (настройка степени
спектроскопии на базе   увеличения    изображения    в    52   этапа).   Максимальная
кафедры «Физическая     просматриваемая область: 3,5х3,5 мм. Степень разрежения в
     электроника.       электронной пушке: свыше 0,05 Па. Степень разрежения в камере
                        для образца: 0,05 Па, 50 Па. Размеры образца: диаметр 70 мм,
                        толщина не более 20 мм.
                        Рамановский спектрометр AVA-Raman-532 TEC.
                        Рамановский спектрометр AvaRaman-532ТЕС, программный
                        комплекс AvaSoft-Raman. Рамановский спектрометр предназначен
                        для снятия спектров комбинационного рассеяния, локального
                        качественного и количественного анализа микро- и нанообъектов,
                        исследования спектров фотолюминесценции, определения
                        размеров наночастиц, определения структуры молекул.
                        Спектрометр USB 2000, программный комплекс «OOIBase32».
                        Возможность контроля оптических параметров материалов и
                        толщин пленочных структур на любом этапе производства
                        микроэлектронных и оптических компонентов. Соотношение
                        сигнал/шум: 250:1 (при полной мощности сигнала); спектральный
                        диапазон: 200-1100 нм.
                        Фурье-Спектрометр «Инфралюм ФТ-801», программный
                        комплекс «ExpertPro801» с приставкой зеркального и
                        диффузионного отражения.
                        Спектрометр предназначен для спектрального анализа в ближней
                        и средней ИК области, для получения спектров пропускания и
                        поглощения твердых, жидких и порошкообразных веществ с их
                        последующей идентификацией, а так же для качественного и
                        количественного анализа смесей, содержащих несколько
                        компонентов. Рабочий спектральный диапазон: 550-5500 см-1,
                        отношение сигнал/шум: 10000:1.




                                      78

								
To top